ULVAC爱发科反应过程气体监视器 适配 CVD / 蚀刻 / ALD，差动排气，耐反应气体，获日本真空工业协会大奖。

ULVAC爱发科新款残余气体分析仪 这是ULVAC新款残余气体分析仪“Qulee”（以太网通信支持）的型号“Qulee HGM2”，以革命性的简洁和易用性实现。 2.5 × 10 -6我们通过A/Pa实现了高灵敏度，满足了从研发应用到真空设备工艺管理的所有需求。

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ULVAC爱发科残余气体监测仪 这是ULVAC的新型残余气体分析仪/过程气体监测器（RGA），在高压（低于1Pa）下实现高精度和高分辨率，具有革命性的简便性和易用性。

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ULVAC爱发科残余气体分析仪 这是ULVAC的新型残余气体分析仪/过程气体监测器（RGA），在高压（低于1Pa）下实现高精度和高分辨率，具有革命性的简便性和易用性。 一个体现各生产线技术专家声音的新工艺监控标准已经到来。

ULVAC爱发科残余气体分析仪 这是ULVAC的新型残余气体分析仪/过程气体监测器（RGA），在高压（低于1Pa）下实现高精度和高分辨率，具有革命性的简便性和易用性。 一个体现各生产线技术专家声音的新工艺监控标准已经到来。 它非常适合溅射设备的工艺管理（提升质量和良率）。

ULVAC爱发科紧凑型干式涡轮分子泵 这是一种紧凑型干式高真空排气装置，紧凑地集成了涡轮分子泵、干式真空泵、阀门管道和电气系统等必要设备。 它非常适合半导体、分析、检测、物理化学以及制药等领域的清洁真空环境。

ULVAC爱发科控制器集成的涡轮分子泵 这是一种控制器集成的涡轮分子泵，采用磁性轴承。

ULVAC爱发科复合翼型涡轮分子泵 这是一种使用陶瓷滚珠轴承的复合翼型涡轮分子泵。