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ULVAC爱发科残余气体监测仪

更新时间:2026-08-25

简要描述:

ULVAC爱发科残余气体监测仪
这是ULVAC的新型残余气体分析仪/过程气体监测器(RGA),在高压(低于1Pa)下实现高精度和高分辨率,具有革命性的简便性和易用性。

型号:CGM2-102点击量:5

  免费咨询:15510016038.

  发邮件给我们:2925710229@qq.com

ULVAC爱发科残余气体监测仪

ULVAC爱发科残余气体监测仪

特色

  • 非常适合溅射工艺

  • 空气泄漏监测

  • 残留水分管理

  • 清洁剂残留物

  • 花园及其他制冷剂泄漏

  • 残余碳氢化合物监测

  • 过程监控无需差动排气系统......测量值低于1Pa,节省空间

  • 具备高灵敏度泄漏检测(CGM2-102)能力,具备增强泄漏检测功能

  • 总压力测量是可能的。

  • 集成显示设计......无需电脑即可测量

  • 操作简单——一键功能......任何人都方便,无需复杂操作

  • Qulee QCS 软件标配

  • CE标准合规

目的

  • 溅射设备中的残余气体分析、工艺监测及杂质(H2O)管理

  • 用于溅射装置的泄漏测试

规格

解决

M/△M=1M(10% P.H.)

类型CGM2-051CGM2-101CGM2-052CGM2-102
质量分离方法四极杆质谱仪
质量数范围1~50 amu1~100 amu1~50 amu1~100 amu
探测器法拉第杯次级电子倍增管 / 法拉第杯
灵敏度0.1uA/Pa0.1mA/Pa
最小检测分压1x10-71x10-10
最大操作压力2PA2Pa(FC)1x10-2Pa(SEM)
线性1Pa
总压力测量函数可得
DEGAS特色内置 / 电子减震系统,300V / 5mA
一键泄漏检查功能可用 / 氦 / 氢2O / 氮2 / 氧2 / 任何气体
电源电压DC24V±10% 50W
最大烘焙温度
(传感器连接时)
120°C
最大烘焙温度
(传感器单元连接时)
250°C
工作温度范围10~40°C
界面以太网
软件兼容Qulee QCS Ver.4.2及更高版本(Windows 8/10/11)
兼容规范CE

北崎代理:

1、以下三大类前  6  项均为日本原厂授权代理销售;其它为厂家项目授权代理销售;

2、未归类的为我司日本本社向日本原厂直接采购,可提供关单和产地证明。

光源类:

1... EYE岩崎——UV灯、照度计 (备库销售)

2... SEN日森——UV固化装置、高压水银灯、紫外光清洗设备 (备库销售)

3... CCS晰写速——环形光源、面光源、光源箱   (部份光源可提供试样)

4... REVOX莱宝克斯——光源箱

5... SERIC索莱克——人工太阳照明灯

6... POLARION普拉瑞——强光灯

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7... FUNATECH船越龙——目视检查灯  (备库销售)

8... USHIO牛尾——UV汞灯、小灯泡

9... ATIEC艾泰克——光源、条光、同轴光、强光灯

10...YAMADA依梦达——光源 (备库销售)

仪器仪表类:

1... SANKO山高——膜厚仪、金属探测仪

2... TOKI东机产业——粘度计

3... SONIC索尼克——超声波风速仪、气体及液体流量计 (备库销售)

4... SAKAGUCHI坂口电热——热电偶、耐热线、热电对

5... DIT东日技研——静电消除器、离子风棒

6... SUGIYAMA杉山电机——下死点检测仪、误送检测装置 (备库销售)

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7... IJIMA饭岛电子——酸素计、氧气分析仪、浓度计

8... TORAY东丽——气体分析仪

9... HIOKI日置——功率分析仪、记录仪、电流传感器

10...TOPCON拓普康——色彩亮度计、辉度计、照度计  (备库销售)

11...KYOWA共和——应变仪、应变片、传感器  (部份备库销售)

12...USHIO牛尾——照度计 (备库销售)

13...ORC欧阿希——照度计 (备库销售)

14...AND爱安德——水分计、天平、粘度计 (备库销售)

15...YASKAWA安川——磁性开关 (备库销售)

16...RKC——热电偶、温控器 (备库销售)

17...EXCEL——听音机 (备库销售)


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