2026-08-12
2026-08-21
2026-08-24
2026-07-16
2026-07-20
2026-08-21
2026-07-02
2026-07-11
2026-07-20
2026-07-15更新时间:2026-08-25
免费咨询:15510016038.
ULVAC爱发科复合翼型涡轮分子泵
ULVAC爱发科复合翼型涡轮分子泵
安装方向:免费
安装方向没有限制,这扩大了设备设计的自由度。
车载
控制器直接安装在涡轮车身上,能够有效减少布线并简化排气系统。
凭借高压缩
和排放压力比,它可在高背压下运行,从而实现辅助泵的微型化。
有三种类型的法兰
:你可以从三种进气法兰中选择:VG、ICF和ISO-K。
该设计不仅在清洁真空
运行时减少了基于烃类的回流,也在泵停止运行时同样有效。
分析仪器、研发设备、实验设备主排气系统
主排气系统如沉积设备和溅射设备
轻质气体如氢气和氦气的主排气系统
| 模型 | UTM70B | UTM300B | |||||
| 泵 | 冷却方法 | 自然风冷 | 强制风冷 | 自然风冷 | 强制风冷 | ||
| 法兰直径 | 进气口 *1 | VG65,ICF114,ISO063-K | VG100,ICF152,ISO100-K | ||||
| 排气口 | KF16 | KF16 | |||||
| 排气速度 (无保护网) | N2 | 70升/秒 | 280升/秒 | ||||
| 他 | 60升/秒 | 270升/秒 | |||||
| H2 | 49升/秒 | 220升/秒 | |||||
| 压力达到 *2 | 烘焙后 | - *3 | 10-8爸 | - *3 | 10-8爸 | ||
| 烘焙 | 10-6爸 | 10-6爸 | 10-6爸 | ||||
| 最大压缩比 | N2 : >1×109, 他 : 4×107, H2 : 4×105 | N2 : >1×109,他:7×106, H2 : 1×105 | |||||
| 最大进气压力 *4, *5, *6 | N2 | 0.43Pa | 1.1Pa | 0.06Pa | 0.7Pa | ||
| 最大排气出口压力 *4, *5, *7 | N2 | 300Pa | 900Pa | 100Pa | 1000Pa | ||
| 最大连续运行流量 *8 | 没有气体 排气 | N2 | 15sccm *9 | 40SCCM *9 | 10sccm *10 | 100sccm *10 | |
| 没有气体 排气 | 阿尔 | - | 10SCCM *9 | - | 30sccm *10 | ||
| 气体 净化可用 | - | 15sccm *9 | - | 40sccm *10 | |||
| 推荐辅助泵 (吸10SCCM时)*11 | 超过60升/分钟 | 超过120升/分钟 | |||||
| 质量 | VG:3.3kg,ISF:3.0kg,ISO:5.0kg | 6.0公斤 / 9.0公斤 | 6.3公斤 / 9.3公斤 | ||||
| 转速 | 87000转/分钟 | 60000转 | |||||
| 启动时间(最高80%) (在DC24V背压低于5Pa时) | 1.7分 | 3.5分 | |||||
| 表面处理 *12 | 没有 | ||||||
| 安装方向 | 全面 | ||||||
| 噪音 *13 | 48dB(A)或更低 | 50dB(A)或更低 | |||||
| 电源规格 | 输入电源 | DC24V ±5%,120W | DC24V ±5%,180W | ||||
| 接触输入/输出 | REMOTE(D-sub 15针公头)4个数字输入/输出,1个模拟输出 | ||||||
| 串行通信 | RS-485(D-sub 15针公头,与REMOTE共用) | ||||||
| LED显示屏 | 电源,正常,警报 | ||||||
| 切换 | 开始/停止,重置 | ||||||
| 可变转速 | 转速可调整为设定泵数的25%~100%(设置以0.1%为单位) | ||||||
| 异常检测 | 警报和警告检测。 | ||||||
| 保护行动 | 显示报警和警告 | ||||||
| 标准配件 | 说明书(CD-R),防护网(仅限VG,ICF)。 ISO法兰集成在垫圈里)、 垫片(用于进气)、防尘盖(用于进气、排气、连接器)——各1个 | ||||||
| 适用标准 | CE、TUVus | ||||||
| *1 | 下单时请选择进气法兰。 |
| *2 | 使用两级辅助泵时 |
| *3 | 只有在强制空气冷却ICF法兰时才可行烘烤。 |
| *4 | 这些数值是在环境温度25°C时的。 当环境温度变化时,允许的值也会随之变化。 |
| *5 | 最大进气和排气进气压力无法同时满足。 |
| *6 | 这是允许连续排气的最大进气压力。 |
| *7 | 这是排气出口在排气口能够连续运行的最大压力,且排气流量为0 sccm。 |
| *8 | 这些数值基于环境温度5~25°C。 请在25 sccm的氮气中使用气体净化剂。 |
| *9 | 这些数值是在使用辅助泵以60升/分钟时的。 |
| *10 | 这些数值是在使用辅助泵以120升/分钟时的。 |
| *11 | 如果气体体积较大,选择能将排气出口压力保持在最大出口压力以下的辅助泵。 |
| *12 | 不要让反应性气体、腐蚀性气体或含氮气体流出。 如有其他咨询,请联系我们。 |
| *13 | ISO法兰类型。 根据我们的测量方法。 |
北崎代理:
1、以下三大类前 6 项均为日本原厂授权代理销售;其它为厂家项目授权代理销售;
2、未归类的为我司日本本社向日本原厂直接采购,可提供关单和产地证明。
光源类:
1... EYE岩崎——UV灯、照度计 (备库销售)
2... SEN日森——UV固化装置、高压水银灯、紫外光清洗设备 (备库销售)
3... CCS晰写速——环形光源、面光源、光源箱 (部份光源可提供试样)
4... REVOX莱宝克斯——光源箱
5... SERIC索莱克——人工太阳照明灯
6... POLARION普拉瑞——强光灯
--------------------------------------------------------------------------------
7... FUNATECH船越龙——目视检查灯 (备库销售)
8... USHIO牛尾——UV汞灯、小灯泡
9... ATIEC艾泰克——光源、条光、同轴光、强光灯
10...YAMADA依梦达——光源 (备库销售)
仪器仪表类:
1... SANKO山高——膜厚仪、金属探测仪
2... TOKI东机产业——粘度计
3... SONIC索尼克——超声波风速仪、气体及液体流量计 (备库销售)
4... SAKAGUCHI坂口电热——热电偶、耐热线、热电对
5... DIT东日技研——静电消除器、离子风棒
6... SUGIYAMA杉山电机——下死点检测仪、误送检测装置 (备库销售)
--------------------------------------------------------------------------------------
7... IJIMA饭岛电子——酸素计、氧气分析仪、浓度计
8... TORAY东丽——气体分析仪
9... HIOKI日置——功率分析仪、记录仪、电流传感器
10...TOPCON拓普康——色彩亮度计、辉度计、照度计 (备库销售)
11...KYOWA共和——应变仪、应变片、传感器 (部份备库销售)
12...USHIO牛尾——照度计 (备库销售)
13...ORC欧阿希——照度计 (备库销售)
14...AND爱安德——水分计、天平、粘度计 (备库销售)
15...YASKAWA安川——磁性开关 (备库销售)
16...RKC——热电偶、温控器 (备库销售)
17...EXCEL——听音机 (备库销售)