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ULVAC爱发科复合翼型涡轮分子泵

更新时间:2026-08-25

简要描述:

ULVAC爱发科复合翼型涡轮分子泵
这是一种使用陶瓷滚珠轴承的复合翼型涡轮分子泵。

型号:UTM-B点击量:5

  免费咨询:15510016038.

  发邮件给我们:2925710229@qq.com

ULVAC爱发科复合翼型涡轮分子泵

ULVAC爱发科复合翼型涡轮分子泵

特色

  • 安装方向:免费
    安装方向没有限制,这扩大了设备设计的自由度。

  • 车载
    控制器直接安装在涡轮车身上,能够有效减少布线并简化排气系统。

  • 凭借高压缩
    和排放压力比,它可在高背压下运行,从而实现辅助泵的微型化。

  • 有三种类型的法兰
    :你可以从三种进气法兰中选择:VG、ICF和ISO-K。

  • 该设计不仅在清洁真空
    运行时减少了基于烃类的回流,也在泵停止运行时同样有效。

目的

  • 分析仪器、研发设备、实验设备主排气系统

  • 主排气系统如沉积设备和溅射设备

  • 轻质气体如氢气和氦气的主排气系统

规格

模型UTM70BUTM300B
冷却方法自然风冷强制风冷自然风冷强制风冷
法兰直径进气口 *1VG65,ICF114,ISO063-KVG100,ICF152,ISO100-K
排气口KF16KF16
排气速度
(无保护网)
N270升/秒280升/秒
60升/秒270升/秒
H249升/秒220升/秒
压力达到
*2
烘焙后- *310-8- *310-8
烘焙10-610-610-6
最大压缩比N2 : >1×109, 他 : 4×107, H2 : 4×105N2 : >1×109,他:7×106, H2 : 1×105
最大进气压力
*4, *5, *6
N20.43Pa1.1Pa0.06Pa0.7Pa
最大排气出口压力
*4, *5, *7
N2300Pa900Pa100Pa1000Pa
最大连续运行流量
*8
没有气体
排气
N215sccm *940SCCM *910sccm *10100sccm *10
没有气体
排气
阿尔-10SCCM *9-30sccm *10
气体
净化可用
-15sccm *9-40sccm *10
推荐辅助泵
(吸10SCCM时)*11
超过60升/分钟超过120升/分钟
质量VG:3.3kg,ISF:3.0kg,ISO:5.0kg6.0公斤 / 9.0公斤6.3公斤 / 9.3公斤
转速87000转/分钟60000转
启动时间(最高80%)
(在DC24V背压低于5Pa时)
1.7分3.5分
表面处理 *12没有
安装方向全面
噪音 *1348dB(A)或更低50dB(A)或更低
电源规格输入电源DC24V ±5%,120WDC24V ±5%,180W
接触输入/输出REMOTE(D-sub 15针公头)4个数字输入/输出,1个模拟输出
串行通信RS-485(D-sub 15针公头,与REMOTE共用)
LED显示屏电源,正常,警报
切换开始/停止,重置
可变转速转速可调整为设定泵数的25%~100%(设置以0.1%为单位)
异常检测警报和警告检测。
保护行动显示报警和警告
标准配件说明书(CD-R),防护网(仅限VG,ICF)。 ISO法兰集成在垫圈里)、
垫片(用于进气)、防尘盖(用于进气、排气、连接器)——各1个
适用标准CE、TUVus
*1下单时请选择进气法兰。
*2使用两级辅助泵时
*3只有在强制空气冷却ICF法兰时才可行烘烤。
*4这些数值是在环境温度25°C时的。 当环境温度变化时,允许的值也会随之变化。
*5最大进气和排气进气压力无法同时满足。
*6这是允许连续排气的最大进气压力。
*7这是排气出口在排气口能够连续运行的最大压力,且排气流量为0 sccm。
*8这些数值基于环境温度5~25°C。 请在25 sccm的气中使用气体净化剂。
*9这些数值是在使用辅助泵以60升/分钟时的。
*10这些数值是在使用辅助泵以120升/分钟时的。
*11如果气体体积较大,选择能将排气出口压力保持在最大出口压力以下的辅助泵。
*12不要让反应性气体、腐蚀性气体或含氮气体流出。 如有其他咨询,请联系我们。
*13ISO法兰类型。 根据我们的测量方法。

北崎代理:

1、以下三大类前  6  项均为日本原厂授权代理销售;其它为厂家项目授权代理销售;

2、未归类的为我司日本本社向日本原厂直接采购,可提供关单和产地证明。

光源类:

1... EYE岩崎——UV灯、照度计 (备库销售)

2... SEN日森——UV固化装置、高压水银灯、紫外光清洗设备 (备库销售)

3... CCS晰写速——环形光源、面光源、光源箱   (部份光源可提供试样)

4... REVOX莱宝克斯——光源箱

5... SERIC索莱克——人工太阳照明灯

6... POLARION普拉瑞——强光灯

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7... FUNATECH船越龙——目视检查灯  (备库销售)

8... USHIO牛尾——UV汞灯、小灯泡

9... ATIEC艾泰克——光源、条光、同轴光、强光灯

10...YAMADA依梦达——光源 (备库销售)

仪器仪表类:

1... SANKO山高——膜厚仪、金属探测仪

2... TOKI东机产业——粘度计

3... SONIC索尼克——超声波风速仪、气体及液体流量计 (备库销售)

4... SAKAGUCHI坂口电热——热电偶、耐热线、热电对

5... DIT东日技研——静电消除器、离子风棒

6... SUGIYAMA杉山电机——下死点检测仪、误送检测装置 (备库销售)

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7... IJIMA饭岛电子——酸素计、氧气分析仪、浓度计

8... TORAY东丽——气体分析仪

9... HIOKI日置——功率分析仪、记录仪、电流传感器

10...TOPCON拓普康——色彩亮度计、辉度计、照度计  (备库销售)

11...KYOWA共和——应变仪、应变片、传感器  (部份备库销售)

12...USHIO牛尾——照度计 (备库销售)

13...ORC欧阿希——照度计 (备库销售)

14...AND爱安德——水分计、天平、粘度计 (备库销售)

15...YASKAWA安川——磁性开关 (备库销售)

16...RKC——热电偶、温控器 (备库销售)

17...EXCEL——听音机 (备库销售)


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