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2026-07-20
2026-07-15更新时间:2026-08-25
免费咨询:15510016038.
ULVAC爱发科控制器集成的涡轮分子泵
ULVAC爱发科控制器集成的涡轮分子泵
泵体与控制器集成
,省去了泵体与控制器之间布线和布线的麻烦。
免费安装指导:安装方向无限制
,扩展了设备设计的自由度。
排气速度为1000L/s~3000L/s级别。
广面积、高流量光过程设计
泵速可在25~100%范围内
调节,允许调节腔室压力。
高耐用性和安全性
:通过大气层进入和着陆测试等多项安全验证测试。
各类设备的
真空主排气系统 - 半导体制造设备
- 沉积设备
- 溅射
设备 - 分析设备、实验设备等
- 研发设备
光过程的主排气系统,不产生副反应产物
由配备油扩散泵的设备替换
高真空排气的其他一般应用
| 模型 | UTM1200A | UTM1600A | UTM2300A | UTM3400A | ||||||||
| 进气口 | VG150 | ISO160F | VG200 | VG250 | ISO200F | ISO250F | VG250 | ISO250F | VG300 | VG350 | ISO320F | |
| 排气口 | KF40 | |||||||||||
| 压力达到 *1 | 10-7 爸 | |||||||||||
| 排气速度 *2×3 | N2 | 1030 L/s | 1400升/秒 | 2100升/秒 | 3200升/秒 | |||||||
| 阿尔 | 980升/秒 | 1330升/秒 | 2000升/秒 | 3100升/秒 | ||||||||
| H2 | 660升/秒 | 750升/秒 | 1380 L/s | 2100升/秒 | ||||||||
| 压缩比 | N2 | 2×108 | 1×108 就这些。 | 1×109 就这些。 | ||||||||
| 他 | 7×103 | 5×103 | 1×105 | |||||||||
| H2 | 8×102 | 9×102 | 6×103 | |||||||||
| 最大进气压力 *4 | 26 Pa | 4.5 帕 | 7 Pa | |||||||||
| 最大排气出口压力 *4 | 266 Pa | 200帕 | 270帕 | |||||||||
| 转速 | 37200分钟-1 | 33700分-1 | 27600分钟-1 | |||||||||
| 变速函数 | 操作速度可调节在泵指定转速的25%~100%之间。 (以0.1%为单位设置) | |||||||||||
| 启动时间 | 8分钟内 | 9分钟内 | 16分钟内 | |||||||||
| 安装方向 | 全向安装可能 | |||||||||||
| 表面处理 *5 | 没有 | |||||||||||
| 外部控制 | 远程 接口 | D-sub 25针母接点输入/输出 | D-sub37针脚母接点输入/输出 | |||||||||
串行接口 | 专用圆形连接器 RS232C/RS485 | D-sub9 插轴公头 RS232C/RS485 | ||||||||||
| 控制器 | 创作 | 与泵体集成(内置于底部) | ||||||||||
| 电源 | 单相交流电200 ~240V ±10%(50/60Hz ±2Hz) | |||||||||||
| 最大所需功率 | 0.75kVA | 1.2kVA | ||||||||||
| 冷却方法 | 水冷 | |||||||||||
| 冷却水 *6 | 流量 | 3~4 L/min | ||||||||||
| 水压 | 0.2 ~ 0.4 兆波加格 | |||||||||||
| 噪音 | 57 dB(A) | 60 dB(A) | ||||||||||
| 质量 | 43公斤 | 41公斤 | 56公斤 | 94公斤 | ||||||||
| 推荐辅助泵 *7 | 超过600升/分钟 | 超过1500升/分钟 | ||||||||||
| 兼容规范 | CE、TUVus | |||||||||||
| 标准配件 | O型圈用于进气(仅限VG),排气口防尘盖,遥控连接器,说明书(光盘) | |||||||||||
| 可选规格 | 交流电缆 | 交流连接器 / 交流电缆(5m/10m/15m/20m) | ||||||||||
| 用于泵固定的特殊螺栓 | M10/M12 | |||||||||||
| 你需要专用螺栓来固定泵吗? | 需求(M10)*8 | 别 *8 | ||||||||||
| 可选项目 | 导气口适配器:KF10 | |||||||||||
北崎代理:
1、以下三大类前 6 项均为日本原厂授权代理销售;其它为厂家项目授权代理销售;
2、未归类的为我司日本本社向日本原厂直接采购,可提供关单和产地证明。
光源类:
1... EYE岩崎——UV灯、照度计 (备库销售)
2... SEN日森——UV固化装置、高压水银灯、紫外光清洗设备 (备库销售)
3... CCS晰写速——环形光源、面光源、光源箱 (部份光源可提供试样)
4... REVOX莱宝克斯——光源箱
5... SERIC索莱克——人工太阳照明灯
6... POLARION普拉瑞——强光灯
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7... FUNATECH船越龙——目视检查灯 (备库销售)
8... USHIO牛尾——UV汞灯、小灯泡
9... ATIEC艾泰克——光源、条光、同轴光、强光灯
10...YAMADA依梦达——光源 (备库销售)
仪器仪表类:
1... SANKO山高——膜厚仪、金属探测仪
2... TOKI东机产业——粘度计
3... SONIC索尼克——超声波风速仪、气体及液体流量计 (备库销售)
4... SAKAGUCHI坂口电热——热电偶、耐热线、热电对
5... DIT东日技研——静电消除器、离子风棒
6... SUGIYAMA杉山电机——下死点检测仪、误送检测装置 (备库销售)
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7... IJIMA饭岛电子——酸素计、氧气分析仪、浓度计
8... TORAY东丽——气体分析仪
9... HIOKI日置——功率分析仪、记录仪、电流传感器
10...TOPCON拓普康——色彩亮度计、辉度计、照度计 (备库销售)
11...KYOWA共和——应变仪、应变片、传感器 (部份备库销售)
12...USHIO牛尾——照度计 (备库销售)
13...ORC欧阿希——照度计 (备库销售)
14...AND爱安德——水分计、天平、粘度计 (备库销售)
15...YASKAWA安川——磁性开关 (备库销售)
16...RKC——热电偶、温控器 (备库销售)
17...EXCEL——听音机 (备库销售)