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ULVAC爱发科控制器集成的涡轮分子泵

更新时间:2026-08-25

简要描述:

ULVAC爱发科控制器集成的涡轮分子泵
这是一种控制器集成的涡轮分子泵,采用磁性轴承。

型号:UTM-MI点击量:4

  免费咨询:15510016038.

  发邮件给我们:2925710229@qq.com

ULVAC爱发科控制器集成的涡轮分子泵

ULVAC爱发科控制器集成的涡轮分子泵

特色

  • 泵体与控制器集成
    ,省去了泵体与控制器之间布线和布线的麻烦。

  • 免费安装指导:安装方向无限制
    ,扩展了设备设计的自由度。

  • 排气速度为1000L/s~3000L/s级别。

  • 广面积、高流量光过程设计

  • 泵速可在25~100%范围内
    调节,允许调节腔室压力。

  • 高耐用性和安全性
    :通过大气层进入和着陆测试等多项安全验证测试。

目的

  • 各类设备的
    真空主排气系统 - 半导体制造设备
    - 沉积设备
    - 溅射
    设备 - 分析设备、实验设备等
    - 研发设备

  • 光过程的主排气系统,不产生副反应产物

  • 由配备油扩散泵的设备替换

  • 高真空排气的其他一般应用

规格

模型UTM1200AUTM1600AUTM2300AUTM3400A
进气口VG150ISO160FVG200VG250ISO200FISO250FVG250ISO250FVG300VG350ISO320F
排气口KF40
压力达到 *110-7
排气速度 *2×3N21030 L/s1400升/秒2100升/秒3200升/秒
阿尔980升/秒1330升/秒2000升/秒3100升/秒
H2660升/秒750升/秒1380 L/s2100升/秒
压缩比N22×1081×108 就这些。1×109 就这些。
7×1035×1031×105
H28×1029×1026×103
最大进气压力 *426 Pa4.5 帕7 Pa
最大排气出口压力 *4266 Pa200帕270帕
转速37200分钟-133700分-127600分钟-1
变速函数操作速度可调节在泵指定转速的25%~100%之间。 (以0.1%为单位设置)
启动时间8分钟内9分钟内16分钟内
安装方向全向安装可能
表面处理 *5没有
外部控制远程
接口
D-sub 25针母接点输入/输出D-sub37针脚母接点输入/输出

串行接口
专用圆形连接器 RS232C/RS485D-sub9 插轴公头 RS232C/RS485
控制器创作与泵体集成(内置于底部)
电源单相交流电200 ~240V ±10%(50/60Hz ±2Hz)
最大所需功率0.75kVA1.2kVA
冷却方法水冷
冷却水 *6流量3~4 L/min
水压0.2 ~ 0.4 兆波加格
噪音57 dB(A)60 dB(A)
质量43公斤41公斤56公斤94公斤
推荐辅助泵 *7超过600升/分钟超过1500升/分钟
兼容规范CE、TUVus
标准配件O型圈用于进气(仅限VG),排气口防尘盖,遥控连接器,说明书(光盘)
可选规格交流电缆交流连接器 / 交流电缆(5m/10m/15m/20m)
用于泵固定的特殊螺栓M10/M12
你需要专用螺栓来固定泵吗?需求(M10)*8别 *8
可选项目导气口适配器:KF10


北崎代理:

1、以下三大类前  6  项均为日本原厂授权代理销售;其它为厂家项目授权代理销售;

2、未归类的为我司日本本社向日本原厂直接采购,可提供关单和产地证明。

光源类:

1... EYE岩崎——UV灯、照度计 (备库销售)

2... SEN日森——UV固化装置、高压水银灯、紫外光清洗设备 (备库销售)

3... CCS晰写速——环形光源、面光源、光源箱   (部份光源可提供试样)

4... REVOX莱宝克斯——光源箱

5... SERIC索莱克——人工太阳照明灯

6... POLARION普拉瑞——强光灯

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7... FUNATECH船越龙——目视检查灯  (备库销售)

8... USHIO牛尾——UV汞灯、小灯泡

9... ATIEC艾泰克——光源、条光、同轴光、强光灯

10...YAMADA依梦达——光源 (备库销售)

仪器仪表类:

1... SANKO山高——膜厚仪、金属探测仪

2... TOKI东机产业——粘度计

3... SONIC索尼克——超声波风速仪、气体及液体流量计 (备库销售)

4... SAKAGUCHI坂口电热——热电偶、耐热线、热电对

5... DIT东日技研——静电消除器、离子风棒

6... SUGIYAMA杉山电机——下死点检测仪、误送检测装置 (备库销售)

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7... IJIMA饭岛电子——酸素计、氧气分析仪、浓度计

8... TORAY东丽——气体分析仪

9... HIOKI日置——功率分析仪、记录仪、电流传感器

10...TOPCON拓普康——色彩亮度计、辉度计、照度计  (备库销售)

11...KYOWA共和——应变仪、应变片、传感器  (部份备库销售)

12...USHIO牛尾——照度计 (备库销售)

13...ORC欧阿希——照度计 (备库销售)

14...AND爱安德——水分计、天平、粘度计 (备库销售)

15...YASKAWA安川——磁性开关 (备库销售)

16...RKC——热电偶、温控器 (备库销售)

17...EXCEL——听音机 (备库销售)


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