ULVAC爱发科涡轮分子泵-高真空排气 这是一种台式高真空排气装置，配备陶瓷滚珠轴承涡轮分子泵。

ULVAC爱发科涡轮分子泵-真空排气 配备电磁阀，作为优秀防停电 前阀的标准配置，能防止停电时的回流和故障。

ULVAC爱发科涡轮分子泵 这是一种带有独立控制器和磁性轴承的涡轮分子泵。 我们有一系列排气速度为300~4000升/秒的型号。 控制器部分监控运行状态并支持各种通信标准。

ULVAC爱发科低温泵-高可靠 配套高性能制冷机，可长期不间断运行，工业产线连续生产，设备故障率低。

ULVAC爱发科低温泵-抗负载 可承受工艺瞬时大量释气，耐受短时气体冲击，适配镀膜、溅射等工艺工况。

ULVAC爱发科低温泵-低噪值 可和机械泵、分子泵组合搭建真空系统，适配不同腔体规格，设备集成安装灵活。

ULVAC爱发科低温泵-兼容性 可和机械泵、分子泵组合搭建真空系统，适配不同腔体规格，设备集成安装灵活。

ULVAC爱发科低温泵-排气稳 再生间隔周期长，不用频繁拆解检修，降低停机时长，减少产线的维护人工成本。

ULVAC爱发科低温泵-少维护 再生间隔周期长，不用频繁拆解检修，降低停机时长，减少产线的维护人工成本。

ULVAC爱发科低振动低温泵 整机振动控制优秀，振动幅值低，不会干扰精密器件，适配高精度镀膜与晶圆加工工序。