ULVAC爱发科多级根式干式真空泵 干式真空泵“型号：GR”是一种基于经过验证且可靠的“型号：LR·HR”设计的简单结构，面向一般工业。

ULVAC爱发科多级根式干式真空泵 ZR120A-S 是一款多级根式干式真空泵。 配备多种传感器和控制器，专为半导体和电子元件市场优化产品。 通过将泵运行所需的所有接口整合到一个地方，提高了安装灵活性。 该控制器可监控各种传感器的状态并确认运行状态。 此外，通过加入消音器，工作噪音也得以降低。

ULVAC爱发科螺旋式干式真空泵 LS”是一种被归类为螺旋式干式真空泵的真空泵。 传统上，提高排气速度会消耗大量电力，但通过结合我们专有的螺旋形状与节能技术，这款干式真空泵实现了高速排气和低功耗。 有四种型号可选，您可以根据设备尺寸、使用条件和应用选择最佳排气容量泵。

ULVAC爱发科螺旋式干式真空泵 MS”是一种被归类为螺旋式干式真空泵的真空泵。 基于传统的“Model：LS”，这是一种耐工艺的干式真空泵，具有更好的耐腐蚀性和粉末排放性能。 它设计用于涉及腐蚀性气体和粉末废气的真空过程。