ULVAC爱发科小孔注入式校准漏孔 向微小孔导入氦气制造标准漏率，支持真空校准与嗅探校准两种工作模式。

ULVAC爱发科渗透玻璃式校准漏孔 依托渗透玻璃透气材料，真空法校准，可接受 JCSS 校准处理，用于检漏标定。

ULVAC爱发科系统集成式氦质谱检漏仪 面向系统安装配套，专为自动氦气检漏系统开发，适配设备集成嵌入使用。

ULVAC爱发科推车式高性能标准氦质谱检漏仪 推车式机身，排气速度优异，便携移动，满足工业产线高强度检漏需求。

ULVAC爱发科推车式大抽速标准氦质谱检漏仪 带移动推车，大排气能力，标准检漏配置，适合产线现场移动检测。

ULVAC爱发科推车式水检专用氦质谱检漏仪 移动推车结构，水检配置，排气速度快，适合现场灵活移动检漏作业。

ULVAC爱发科台式标准型氦质谱检漏仪 台式本体，排气速度快，使用便利，适配常规氦气检漏各类检测场景。

ULVAC爱发科台式高速排气氦质谱检漏仪 台式机型，排气速度快，水检专用，操作便捷，全流程检漏作业性能优异。

ULVAC爱发科差动排气工艺监测器 配置差动排气系统的反应性工艺气体监测器，面向蚀刻、CVD 等半导体工艺开发，承袭 Qulee 系列核心技术，依托 Albac 特殊离子源与排气系统结构，对各类反应性腐蚀气体具备很强耐受力，保障设备长期稳定开展测量作业

ULVAC爱发科差动排气工艺监测器 差动排气工艺监测器，适配蚀刻 CVD，特殊结构耐腐蚀性气体长期测量。