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ADCMT爱德万MASK-DR SEM E5600系列

更新时间:2026-08-13

简要描述:

ADCMT爱德万MASK-DR SEM E5600系列
E5620 支持对光罩微缺陷的审查和分类,以及 MASK 这是DR-SEM(∗)。
它实现了高度稳定的图像采集技术,能够自动可视化从掩膜检测系统导入的缺陷位置数据。

型号:E5620点击量:11

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ADCMT爱德万MASK-DR SEM E5600系列

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它实现了高度稳定的图像采集技术,能够自动可视化从掩膜检测系统导入的缺陷位置数据。 与之前的DR-SEM型号E5610相比,下一代极紫外曝光面罩取得了许多改进。


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