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CLASSIFICATION旋片泵依靠容积周期性变化完成抽气。电机带动偏心转子旋转,转子槽内的旋片借助离心力贴紧泵腔内壁,把内腔分割成多个容积可变的独立气室。气室容积变大时吸入气体;容积缩小后压缩气体;压力达到阈值,推开排气阀将气体排出。循环不断,腔体内部气体总量逐步减少。油式旋片泵依靠泵油形成油膜,密封旋片与腔体之间的缝隙,减少气体回流。
分子泵不依靠容积压缩,核心是动量传递。泵内装有多层高速旋转的动叶片和固定静叶片。高速叶片碰撞气体分子,给气体分子赋予定向运动的动能,推动分子持续向着排气口方向移动。分子泵无法直接抽取大气,必须搭配前级泵。需要前级泵预先把腔体抽到合适压力区间,分子泵才能正常捕捉气体分子。
旋片泵:可从大气压直接启动抽气,主要用于粗抽、低真空至中真空。常作为整套真空系统的前级泵。
分子泵:在高真空区间发挥抽气能力,适合获取很低的压力。大气压环境下不能单独运行。
旋片泵(油式)依靠泵油油膜密封间隙,同时兼顾润滑、散热。油液老化、乳化会削弱密封效果,影响极限真空。干式旋片泵依靠微小机械间隙密封。分子泵属于无油类高真空泵,内部不使用真空泵油作为密封介质,依靠动、静叶片微小间隙,不会出现油返流污染腔体的情况。
旋片泵可以处理普通干燥气体,开启气镇阀后,可处理少量水汽。但粉尘、腐蚀性气体会加速内部旋片磨损;油式机型存在油雾返流风险。分子泵适合洁净工艺,抽除微量气体分子。粉尘、大颗粒杂质会撞击叶片,造成高速叶片损伤,进气端一般需要防护。
旋片泵启动流程简单,通电即可开始粗抽,连续抽取大量气体。分子泵开机有升速过程,需要等待叶片达到额定转速才能获得稳定抽速;停机阶段也要按流程降速,不能直接断电。
如果需要从大气压快速抽除大量气体,优先旋片泵作为前级;当工艺需要高真空、腔体不能被油污染时,搭配分子泵,两台设备配合使用。二者原理不同,在真空机组里承担不同分工。

