EBARA荏原相关产品-臭氧化器 主打稳定产出高浓度臭氧气体，机身立式一体化柜体设计，占用空间小，适配半导体、精密清洗等洁净产线使用。

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EBARA荏原高效节能催化式排气减排系统 高效且安全地处理PFC气体，无需水洗，无需燃料，氟串气的凝固

EBARA荏原干式减排清除系统 高效且安全地处理PFC气体，无需水洗，无需燃料，氟串气的凝固

EBARA荏原干式排气排放系统 高效且安全地处理PFC气体，无需水洗，无需燃料，氟串气的凝固

EBARA荏原燃烧型排气减排系统-消灭前层叶 能够同时排放大量氢气和氯气 副产物去除措施/粉末状副产物的自动去除

EBARA荏原燃烧型排气减排系统-低运行成本 能高效处理气体和全氟碳化合物（PFCs）

EBARA荏原燃烧型排气减排系统 氮氧化物排放低，反应副产物充足，以降低维护成本。

EBARA荏原排气减排系统 适合低成本处理水溶性气体、节省空间的湿式排气排放系统

EBARA荏原水平混合流泵 （1）水平分体外壳，便于检查和维护。 （2）陶瓷或塑料浸没轴承，无需润滑。 （3）提供非水封条。 （4）大流量。