EBARA荏原燃烧型排气减排系统
氮氧化物排放低，反应副产物充足，以降低维护成本。

一、系统用途

二、三类主流处理机型

1. 高温燃烧型（适配含 PFC 温室气体废气）

1. G5 系列

   通用燃烧减排设备，可处理多种混合工艺气体，全氟气体分解效率超 99%。自带粉尘自动清理结构，燃料消耗可调节，降低运行能耗。最大处理流量 1200L/min，用于刻蚀、CVD、LED 常规生产线，具备行业安全认证。

2. G6-E 系列

   半导体外延工艺专用机型，适配 MOCVD、碳化硅、氮化镓第三代半导体产线，可大流量处理高浓度氢气、氯气尾气。

3. TND 系列

   低氮氧化物、低一氧化碳环保燃烧机型，优化燃烧室结构，减少污染物二次生成。针对高粉尘废气做防腐防堵改造，维护周期更长。高配型号增设前置水洗，处理杂质含量高的废气稳定性更好。

2. 湿式洗涤 G-WS 系列（水溶性酸性废气专用）

3. 干式分解 FDS 系列（无废水产线、实验室）

三、可处理废气种类

1. 温室气体：四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫、三氟化氮等全氟类化合物；

2. 酸性腐蚀气体：氯化氢、氯气、六氟化钨、四氟化硅；

3. 易燃易爆气体：氢气、硅烷等工艺可燃尾气。

四、设备通用优势

1. 安全防护：配备高温、压力、燃气多重联锁保护，异常工况自动停机报警；

2. 占地紧凑：立式机柜结构，竖向布局节省地面空间；

3. 运维简便：易损耗配件集中布置在设备正面，单人即可完成更换、清洁；

4. 防腐耐用：接触废气的腔体、管路采用耐氟、耐酸特种材质，长期使用不易腐蚀渗漏。