EBARA荏原高效节能催化式排气减排系统 高效且安全地处理PFC气体，无需水洗，无需燃料，氟串气的凝固

EBARA荏原干式减排清除系统 高效且安全地处理PFC气体，无需水洗，无需燃料，氟串气的凝固

EBARA荏原干式排气排放系统 高效且安全地处理PFC气体，无需水洗，无需燃料，氟串气的凝固

EBARA荏原燃烧型排气减排系统-消灭前层叶 能够同时排放大量氢气和氯气 副产物去除措施/粉末状副产物的自动去除

EBARA荏原燃烧型排气减排系统-低运行成本 能高效处理气体和全氟碳化合物（PFCs）

EBARA荏原燃烧型排气减排系统 氮氧化物排放低，反应副产物充足，以降低维护成本。

EBARA荏原排气减排系统 适合低成本处理水溶性气体、节省空间的湿式排气排放系统