2026-07-082026-07-252026-07-062026-07-102026-07-082026-07-102026-07-132026-07-102026-07-202026-07-17更新时间：2026-07-25
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EBARA荏原高效节能催化式排气减排系统
EBARA荏原高效节能催化式排气减排系统
荏原排气减排设备安装在干式真空泵后端，处理半导体、光电、光伏、化工生产产生的工艺尾气。
温室气体：四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫、三氟化氮等全氟类化合物；
酸性腐蚀气体：氯化氢、氯气、六氟化钨、四氟化硅；
易燃易爆气体：氢气、硅烷等工艺可燃尾气
系统可以分解有毒酸性气体、可燃气体、全氟类温室气体，处理后的废气符合车间安全规范与环保排放标准。
整机为紧凑型柜体，可就近对接设备尾气管道，适配无尘车间地下夹层狭小安装空间。
GCR模型是一种催化式排气减排系统，能够高效分解和去除气体，包括用于蚀刻氧化物半导体薄膜的PFC气体，运行成本较低。
| 类型 | 单位 | GCR120* | GCR250 | |
| 减排方法 | 催化+湿式 | 催化+湿式 | ||
| 反应堆生命检测器 | PFC探测器 | PFC探测器 | ||
| 最大流入气体体积 | L/min | 120 | 250 | |
| 尺寸 | 宽 x 深 x 高 毫米 | 1,200×600×1,800毫米 | 1,400×700×1,850毫米 | |
| 气体（例如） | CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3、HF、F2、SiF4、CO、COF2、N2O等。 | CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3、HF、F2、SiF4、CO、COF2、N2O等。 | ||
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