EBARA荏原干式减排清除系统
高效且安全地处理PFC气体，无需水洗，无需燃料，氟串气的凝固

特色与优势

• 每种目标工艺气体都可以选择最合适的吸附剂，使其适用于广泛的应用。

• 规格

• 类型		单位	GTE-3-0	GTE-0-2	GTC-1-0	GTC-2-0	GTC-6-0	GTC-0-1
  减排方法			干的	干的	干的	干的	干的	干的
  最大流入气体体积		L/min	100	80	100	100	100	100
  维度单曲		宽 x 深 x 高 毫米	600x600x2000	900x600x2000	600x600x2000	600x600x2000	600x600x2000	600x600x2000
  维度对偶		宽 x 深 x 高 毫米	900x600x2000	-	900x600x2000	900x600x2000	900x600x2000	900x600x2000
  气体（例如）			硼、氯化、血铛、血红、氟化硅、、高碳、碳纤维、碳五、氯化、氯化纤维、氯化纤维蛋白、氯化纤维蛋白、氯化、四叉戟、氯化、四氟化、四氟化、硅化、四氟化、四氟化、高血酸、、高频、高碳、高碳、碳、五、五、四、等等。	NF3、N2O、NO2、SiF4、HF、F2等。	SiH4、pH3、AsH3、TMS等。	NH3、SiH2Cl2、SiCl4等。	TEOS、TMB、TME、O3等。	ClF3、HF、F2、盐酸等。