EBARA荏原相关产品-臭氧化器
主打稳定产出高浓度臭氧气体，机身立式一体化柜体设计，占用空间小，适配半导体、精密清洗等洁净产线使用。

EBARA荏原相关产品-臭氧化器

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特色与优势

• OZC型号是一种臭氧化器，能够稳定产生大量高浓度臭氧（10伏或更高）。通过采用高度抗臭氧和等离子体的材料，实现超清洁臭氧气体和延长产品寿命。小面积臭氧化器通过显著增加单位面积产生的臭氧体积实现。标配臭氧泄漏传感器等安全功能，以及安全电路，以便在发生故障或紧急情况下安全停机。

• 核心功能特点

  设备结构与操控

  柜体分层布局，上层集中布置数显操控面板、急停安全按钮；中层为臭氧发生核心模块、气体管路阀门；下层搭载散热通风机组，底部配备万向脚轮，设备可灵活移动调整摆放位置。

  整机操作界面可视化，可直观查看臭氧浓度、设备运行功率、腔体温度等关键参数，参数可按需调节适配不同工艺需求。

  适用场景

  多用于晶圆表面氧化处理、精密电子零部件清洗、薄膜表面改性等对臭氧纯度、浓度稳定性要求严苛的工业洁净制程。

• 高浓度稳定产气

  设备可稳定产出 10 伏及以上高浓度臭氧，产气流量充足，能够持续供给产线氧化工艺使用，浓度波动小，工艺一致性稳定。

• 超纯净臭氧输出

  整机与臭氧、等离子体直接接触的腔体、管路，全部选用高耐臭氧腐蚀特种材料。生产过程无杂质析出，产出臭氧纯度高，不会污染精密工件。

• 标配臭氧泄漏安全监测

  设备出厂自带臭氧泄漏传感装置，实时监测机身周边臭氧浓度。一旦出现气体泄漏，设备会立刻触发报警，同步执行联锁停机，规避臭氧中毒、腐蚀设备的安全隐患。

• 一体化紧凑柜体结构

  整机集成放电发生单元、冷却模块、控制操作面板、安全保护模块，全部整合在单台立式机柜内，无需额外配套多台辅机，安装摆放便捷，仅需正面预留日常检修空间。