Hinomoto日之本 桌面型 CMP 研发实验机
桌面型 CMP 研发实验机，高刚性高可靠性，加工精度优异，整机体积小巧紧凑。

Hinomoto日之本 桌面型 CMP 研发实验机

Hinomoto日之本 桌面型 CMP 研发实验机

Table Top CMP R&D Tool 是专用桌面式 CMP 实验装置，和普通简易桌面机型存在明显区别，继承成熟设备积累下来的技术经验，兼顾高刚性、运行可靠性与加工精度，同时实现整机高度紧凑化。设备体积小巧，可以直接放置在实验台面上使用，不用专门预留大型设备安放场地，非常适合空间紧张的实验室。虽然机身小型化，但整机刚性没有妥协，加工过程设备振动形变控制到位，保障抛光实验的精度，实验结果具备参考价值，可用于工艺摸索、抛光耗材性能评估、试样小批量处理。设备适配多种小尺寸晶圆、试样样品，可完成 CMP 抛光全流程实验，用来测试抛光液、抛光垫的实际加工表现，获取材料去除率、表面粗糙度等关键实验数据。设备操作简单，调试便捷，科研人员可以快速上手开展实验，不用复杂安装调试。该桌面机型弥补大型量产设备成本高、占地大的短板，以更小体积实现可靠的 CMP 实验能力，广泛用于高校实验室、材料研发企业、半导体研发部门，用于前期工艺探索、新材料试样处理，为后续量产设备工艺开发提供可靠实验依据，是性价比突出的桌面 CMP 研发设备。