KOSAKA小坂 多机能全自动微细形状测定机
ET4000A 多机能全自动测定机，全自动检测，0.3nm 级再现性，适配 FPD 基板晶圆段差粗度。

KOSAKA小坂 多机能全自动微细形状测定机

KOSAKA小坂 多机能全自动微细形状测定机

ET4000A 属于 ET4000 系列多机能全自动机型，设备精度、稳定性、综合机能表现突出，主要面向 FPD 基板、半导体晶圆、硬盘盘片工件，完成微细形状、台阶段差、表面粗糙度全自动测定。整套设备实现测量流程自动化，减少人工操作介入，规避人为操作带来的数据偏差，保障批量样品检测结果一致性。

最大试片尺寸覆盖 210×210mm～300×400mm；再现性达到 1σ 0.3nm 以内。测定范围 Z 轴 100μm，X 轴 100mm，Y 轴移动量 150‑400mm；分解能 Z 轴 0.1nm，X 轴 0.01μm；测定力 0.5μN‑500μN 可调节。可根据样品材质灵活切换检测力度，极低测定力档位，能够检测质地娇嫩易损伤的工件。

广泛应用液晶面板、半导体晶圆、硬盘盘片、光学元件的台阶高度、表面粗糙度全自动检测。多机能设计可以适配多种检测项目，全自动运行模式适合大批量样品检测任务，有效提升检测效率。设备运行稳定性强，重复测量误差小，产出的数据可以直接用于产线品质管控、工艺改良验证、研发样品分析。配套软件具备丰富解析功能，支持报告模板自定义，直接输出标准化检测报告。设备整体结构坚固，抗环境干扰能力强，能够稳定应对工厂实验室的日常高频检测工作，是面板、半导体、存储器件等制造行业常用的高精度接触式轮廓检测设备。