KOSAKA小坂 大型工件全自动微细形状测定机
ET4000L 大型工件全自动测定机，适配大尺寸样品，全自动检测，纳米级高分解能。

KOSAKA小坂 大型工件全自动微细形状测定机

KOSAKA小坂 大型工件全自动微细形状测定机

ET4000L 为 ET4000 系列面向大尺寸工件开发的全自动微细形状测定机型。继承系列高精度、高安定性的优势，针对大尺寸基板样品做结构优化，承载能力更大，可完成大规格 FPD 基板、晶圆等工件的微细形状、段差、粗糙度全自动测定。大行程结构做刚性强化，保证大范围移动过程中测量精度不衰减。

最大试片尺寸 210×210mm～300×400mm；再现性 1σ 0.3nm 以内。测定范围 Z：100μm，X：100mm，Y 移动量 150‑400mm；分解能 Z：0.1nm，X：0.01μm；测定力 0.5μN‑500μN 可调。样品一次装夹，设备就可以完成多个区域自动扫描测量，不需要切割拆分大板样品。

多用于大尺寸液晶面板、半导体晶圆、大面积光学薄膜的段差高度与表面粗糙度检测。大尺寸基板无需裁切取样，直接上机检测，避免取样过程破坏样品，同时节省制样工时。全自动测量流程，降低大尺寸样品对位操作难度，提升批量检测效率。可调测定力档位，可保护软质、易划伤工件表面，高分解能稳定输出纳米级检测数据。配套软件支持多点位测量程序编辑，适合大板多区域巡检。设备适合面板、半导体行业，用于大尺寸工件的品质管控与研发分析，为大面积微细加工检测提供稳定设备支撑。