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OTSUKA大塚电子超高速光谱干涉厚度仪-*

更新时间:2026-07-22

简要描述:

OTSUKA大塚电子超高速光谱干涉厚度仪-*
除了能够高精度薄膜分析的光谱镜片偏度外,我们还实现了自动调节角度测量机制,能够处理各种类型的薄膜。 除了传统的旋转光度计方法外,通过引入相位差板的自动安装和拆卸机构,提高了测量精度。

型号:SF-3/800点击量:8

  免费咨询:15510016038.

  发邮件给我们:hsy@kitazaki.cn

OTSUKA大塚电子超高速光谱干涉厚度仪-*

OTSUKA大塚电子超高速光谱干涉厚度仪-*

产品信息

特色
  • 可实现非接触式且无损的厚度测量

  • 反射光学系统(可通过一侧接触测量)

  • 高速(最高可达5kHz)并具备实时评估能力

  • 实现高度稳定性(重复性准确率低于0.01%)

  • 耐粗糙

  • 支持任何距离

  • 支持多层结构(最多5层)

  • 内置NG数据移除功能

 

OTSUKA大塚电子超高速光谱干涉厚度仪-*

 

第一点:拥有独特的技术

支持广泛的胶片厚度范围,同时实现高波长分辨率。
大塚电子的专有技术被压缩到紧凑的机身中。

OTSUKA大塚电子超高速光谱干涉厚度仪-*

 

第二点:高速支持

它能精确测量运动物体,非常适合
工厂生产线。

OTSUKA大塚电子超高速光谱干涉厚度仪-*

 

第三点:支持各种表面条件的样品

只要有一个约φ20μm的微小点,即使在不同表面条件下的
样品上,也能测量厚度。

OTSUKA大塚电子超高速光谱干涉厚度仪-*

 

Point4:さまざまな環境に対応

最大200mmまで離れた位置からでも測定可能なため、
目的や用途に応じた測定環境を構築可能です。

OTSUKA大塚电子超高速光谱干涉厚度仪-*

 

测量项目
  • 厚度测量(5层)

 

目的
  • 不同厚度的厚膜成员

 

OTSUKA大塚电子超高速光谱干涉厚度仪-*

 

 

产品核心优势

  1. 高速在线连续测量

    具备高速采样能力,可对移动状态下样品进行不间断检测,满足产线实时监控需求,保障制程厚度稳定性。

  2. 单侧非接触光学检测

    仅从样品上方进行测量,无需样品底部设置光学窗口,能够透过观察窗、保护膜开展检测,适配密闭加工腔体工况。

  3. 光纤分体式集成结构

    控制主机与测量探头依靠光纤连接,主机可安置在设备外部,小型探头便于安装至研磨机、涂布机狭小空间。

  4. 外部对接功能

    配备通讯接口、外部触发功能,可直接对接产线 PLC 控制系统,实现数据实时传输,支持自动化闭环管控。




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