关闭 TFW-100 主机、TF-Lab 软件，断开设备电源，等待卤素灯充分冷却 30 分钟，高温灯泡触碰会烫伤、炸裂。
佩戴无尘手套、防静电手环，禁止裸手接触镜头、灯泡、光路镜片，指纹油污会损伤镀膜。
准备耗材：无油压缩气吹、光学专用擦镜纸、99.7% 无水乙醇、无尘棉签、原厂 12V100W 卤素灯、十字小螺丝刀、无尘收纳盒。
作业环境：无尘操作台，关闭风机直吹，避免灰尘二次落在光学元件表面。
用气吹斜 45° 远距离吹扫镜头表面浮尘，先吹后擦，避免颗粒划伤镀膜。
折叠双层擦镜纸，滴 1 滴无水乙醇，仅润湿纸角，禁止液体直接滴在镜头上。
镜头中心向外匀速单向螺旋擦拭，单次一张擦镜纸只使用一次，不重复擦拭。
换干擦镜纸轻吸残留溶剂，静置 1 分钟自然挥发，确认表面无水渍、印痕再开机。
断电冷却后，旋转取下前端测量物镜，放置于无尘纸上。
依次清洁物镜前端镜片、后端入光镜片、镜筒内壁浮尘，棉签蘸少量乙醇擦拭镜筒内部。
清洁设备内部分光窗口、参考光路反射镜片，流程同样先吹尘再擦拭。
确认所有光学元件干燥无残留，对准螺纹平稳装回物镜，手拧至贴合，禁止工具大力紧固。
开机预热 15 分钟，使用标准硅片校准基线，检查光斑均匀无暗斑。
禁用 75% 酒精、丙酮、纸巾、棉签干擦镜头；禁用镊子、毛刷硬刮镜片。
溶剂过量渗入镜筒会腐蚀内部镀膜、粘连镜组。
镜头表面存在划痕无法修复，只能更换原厂物镜。
断电冷却 30 分钟，打开设备后侧光源仓盖板固定螺丝，取下盖板。
观察灯座结构，松开灯泡两侧接线端子卡扣，轻拔电源接头。
松开灯架两颗固定螺丝，取出老化卤素灯，轻拿灯座金属底座，不触碰灯泡玻璃管壁。
取出全新原厂 12V100W 卤素灯，全程戴无尘手套，禁止触摸玻璃泡壳。
将灯泡对准灯架卡槽平稳放置，轻微涂抹薄层导热硅脂于金属底座，提升散热。
固定灯架螺丝，力度轻柔不打滑，插回光源接线端子，确认接触紧实无松动。
对齐光路：轻微微调灯架左右、高低位置，保证钨丝对准光路中心。
装回光源仓盖板，拧紧固定螺丝，接通电源。
开机整机预热 20 分钟，打开 TF-Lab 测量软件。
进入校准界面，执行暗电流采集、标准硅片基线校正。
观察光谱曲线全波段强度均匀，无局部凹陷、毛刺；多点测试标准膜厚片，数值误差回归设备公差范围即更换完成。
记录灯泡更换时间、累计点亮时长，建立耗材更换台账。
气吹清理物镜表面灰尘，目视检查光斑完整。
擦拭载物台玻璃测量窗口，清除样品粉尘、碎屑。
查看光源强度数值，强度低于阈值提前备灯。
完整拆解清洁物镜、内部分光镜片、光源出光窗口。
清理设备散热孔灰尘，保证卤素灯散热通畅，避免高温加速灯泡老化。
紧固光源仓、光路模块所有固定螺丝，防止震动偏移光路。
执行全波段基线校准、多点标准片验证测量精度。
清洁内部光谱探测器窗口，气吹清理光路腔体积尘。
检查设备电源线、USB 通讯线有无老化破损。
测试 Z 轴升降载物台运行顺滑度，清理轨道粉尘。
核对灯泡累计工作时长，临近 2000 小时提前采购备用光源。
整机光路准直检测，光轴偏移超标联系原厂调校。
更换老化散热风扇、密封圈。
全套光学元件深度清洁，更新整套基线校准参数。
每日停机后用气吹清洁镜头，盖上原厂镜头防尘盖。
长期停机超过 7 天，断开电源，取出光源灯泡单独防潮存放。
整机放置 40%–60% 湿度无尘环境，套设备防尘罩，内部放置干燥剂。
再次启用前完整清洁光路、更换干燥剂，预热校准后再生产测量。
