2026-07-08
2026-07-06
2026-07-10
2026-07-07
2026-07-22
2026-07-07
2026-07-17
2026-07-15
2026-07-06
2026-07-15更新时间:2026-07-22
免费咨询:15510016038.
OTSUKA大塚电子超高速光谱干涉厚度仪
OTSUKA大塚电子超高速光谱干涉厚度仪
可实现非接触式且无损的厚度测量
反射光学系统(可通过一侧接触测量)
高速(最高可达5kHz)并具备实时评估能力
实现高度稳定性(重复性准确率低于0.01%)
耐粗糙
支持任何距离
支持多层结构(最多5层)
内置NG数据移除功能

支持广泛的胶片厚度范围,同时实现高波长分辨率。
大塚电子的专有技术被压缩到紧凑的机身中。

它能精确测量运动物体,非常适合
工厂生产线。

只要有一个约φ20μm的微小点,即使在不同表面条件下的
样品上,也能测量厚度。

最大200mmまで離れた位置からでも測定可能なため、
目的や用途に応じた測定環境を構築可能です。

厚度测量(5层)
不同厚度的厚膜成员

高速在线连续测量
具备高速采样能力,可对移动状态下样品进行不间断检测,满足产线实时监控需求,保障制程厚度稳定性。
单侧非接触光学检测
仅从样品上方进行测量,无需样品底部设置光学窗口,能够透过观察窗、保护膜开展检测,适配密闭加工腔体工况。
光纤分体式集成结构
控制主机与测量探头依靠光纤连接,主机可安置在设备外部,小型探头便于安装至研磨机、涂布机狭小空间。
外部对接功能
配备通讯接口、外部触发功能,可直接对接产线 PLC 控制系统,实现数据实时传输,支持自动化闭环管控。