2026-08-122026-08-212026-08-242026-07-162026-07-202026-08-212026-07-022026-07-112026-07-202026-07-15更新时间：2026-08-25
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ULVAC爱发科低温泵-高可靠
ULVAC爱发科低温泵-高可靠
泵体和控制器部分是分开
的，方便你监控运行状态并支持各种通信标准。
免费安装指导：安装方向无限制
，扩展了设备设计的自由度。
300L/s ~ 4000L/s 级别排气速度列表
泵速可在25~100%范围内
调节，允许调节腔室压力。
高耐用性和安全性
：通过大气层进入和着陆测试等多项安全验证测试。
各类设备的
真空主排气系统 - 半导体制造设备
- 沉积设备
- 溅射
设备 - 分析设备、实验设备等
- 研发设备
光过程的主排气系统，不产生副反应产物
高真空排气的其他一般应用
| 模型 | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A-MS | ||||||
| 进气口 | VG100 / ICF152 | VG150 / ICF203 | VG200 / ICF253 | |||||||
| 排气口 | KF25 | KF40 | ||||||||
| 冷却方法 | 水冷 | 空气冷却 | 水冷 | 空气冷却 | 水冷 | 空气冷却 | 水冷 | 空气冷却 | ||
| 压力达到 *1 | 爸 | 10-7 | 10-8 | |||||||
| 排气速度 *2 | N2 | L/s | 320 | 420 | 800 | 1080 | ||||
| 阿尔 | L/s | — | ||||||||
| 他 | L/s | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
| H2 | L/s | 320 | 340 | 700 | 790 | |||||
| 压缩比 | N2 | 1×109 | ||||||||
| 他 | 8×104 | |||||||||
| H2 | 1×104 | 4×103 | ||||||||
| 最大进气压力 *3 | 爸 | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
| 最大排气出口压力 *3 | 爸 | 400 | 40 | 400 | 40 | 665 | 40 | 665 | 40 | |
| 转速 | 转速 | 45000 | 35000 | |||||||
| 启动时间 | 5分钟内 | |||||||||
| 安装方向 | 全向安装可能 | |||||||||
| 表面处理 | 镍镀层 | |||||||||
| 冷却水 | 流量 | L/min | 1~3 | — | 1~3 | — | 1~3 | — | 1~3 | — |
| 水压 | MPaG | 02~0.5 | — | 02~0.5 | — | 02~0.5 | — | 02~0.5 | — | |
| 噪音 | dB（A） | 60 | ||||||||
| 质量 | KG | 14 | 33 | 32 | ||||||
| 推荐的辅助泵 | 超过200升/分钟 | 超过500升/分钟 | ||||||||
| 控制器 | 创作 | 分开 | ||||||||
| 输入电源 | 单相交流电200 ~240V ±10%（50/60Hz ±2Hz） | |||||||||
| 最大所需电量 | kVA | 0.55 | 1.0 | |||||||
| 变速函数 | 操作速度可调整为泵速限制的25%~100%（以0.1%为单位） | |||||||||
| 外部控制 | 接触输入/输出 | |||||||||
| RS-232C / RS-485 | ||||||||||
| 质量 | KG | 8 | ||||||||
*1：表示顺序。
*2：数值为无保护网的箱子。
*3：最大进气压力和排气压力的条件不能同时满足。
北崎代理：
1、以下三大类前 6 项均为日本原厂授权代理销售；其它为厂家项目授权代理销售；
2、未归类的为我司日本本社向日本原厂直接采购，可提供关单和产地证明。
光源类：
1... EYE岩崎——UV灯、照度计 （备库销售）
2... SEN日森——UV固化装置、高压水银灯、紫外光清洗设备 （备库销售）
3... CCS晰写速——环形光源、面光源、光源箱 （部份光源可提供试样）
4... REVOX莱宝克斯——光源箱
5... SERIC索莱克——人工太阳照明灯
6... POLARION普拉瑞——强光灯
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7... FUNATECH船越龙——目视检查灯 （备库销售）
8... USHIO牛尾——UV汞灯、小灯泡
9... ATIEC艾泰克——光源、条光、同轴光、强光灯
10...YAMADA依梦达——光源 （备库销售）
仪器仪表类：
1... SANKO山高——膜厚仪、金属探测仪
2... TOKI东机产业——粘度计
3... SONIC索尼克——超声波风速仪、气体及液体流量计 （备库销售）
4... SAKAGUCHI坂口电热——热电偶、耐热线、热电对
5... DIT东日技研——静电消除器、离子风棒
6... SUGIYAMA杉山电机——下死点检测仪、误送检测装置 （备库销售）
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7... IJIMA饭岛电子——酸素计、氧气分析仪、浓度计
8... TORAY东丽——气体分析仪
9... HIOKI日置——功率分析仪、记录仪、电流传感器
10...TOPCON拓普康——色彩亮度计、辉度计、照度计 （备库销售）
11...KYOWA共和——应变仪、应变片、传感器 （部份备库销售）
12...USHIO牛尾——照度计 （备库销售）
13...ORC欧阿希——照度计 （备库销售）
14...AND爱安德——水分计、天平、粘度计 （备库销售）
15...YASKAWA安川——磁性开关 （备库销售）
16...RKC——热电偶、温控器 （备库销售）
17...EXCEL——听音机 （备库销售）
发邮件给我们：2925710229@qq.com