产品分类
CLASSIFICATION2026 年 10 月 14 日
聚焦高真空工艺，我司代理的 ULVAC 爱发科新一代干式真空泵正式登场，为各类高真空制程提供稳定可靠的真空获取方案，适配半导体、光学镀膜、真空热处理、科研实验等场景。
设备采用无油干式结构，泵腔内不使用润滑油，不会产生油气污染，保障高真空环境洁净度，避免油蒸气反向扩散污染工件。搭载爱发科自研转子型线，在高真空区间保持稳定抽气能力，极限真空性能优异，能够快速将腔体从大气抽至工艺所需高真空状态，缩短抽气等待时长，提升产线作业效率。
整机优化了转子动平衡设计，运行振动更小，搭配一体式降噪结构，降低运行噪音，减少对精密工艺环境的干扰。设备针对工艺气体做防护设计，可选配气体吹扫结构，可处理水汽、少量腐蚀性气体，拓宽适用工艺范围。系列机型抽速覆盖范围广，可单独使用，也可与分子泵组合构成高真空机组，满足不同真空度需求。
控制系统集成运行状态采集与故障预警功能，实时监测温度、电流、真空度等关键参数，便于接入产线自动化系统，实现设备远程监控。设备结构紧凑，拆装维护简单，耗材更换周期更长，降低长期运维投入，保障产线连续稳定生产。
我司作为品牌代理，可提供工况评估、设备选型、技术对接与售后技术支持，结合客户高真空工艺要求，配套适配的真空机组方案，
