产品分类
CLASSIFICATION2026 年 10 月 14 日
ULVAC 爱发科新一代 LS 系列干式螺杆真空泵重磅上市,我司作为品牌代理,面向国内市场提供该系列设备供应与技术服务。该机型搭载爱发科自研螺杆结构以及 ECO-SHOCK 节能技术,在实现大抽速输出的同时,有效控制运行功耗,解决传统干式真空泵能耗偏高的行业难题,适用于半导体镀膜、真空干燥、溅射、载锁腔等洁净以及轻度腐蚀工艺场景。
泵体采用无油干式设计,泵腔内部不配置密封油,无需冷却水参与工作,可以输出洁净真空环境,避免油污染问题影响工件良率。设备在大气压区间抽气性能表现突出,对比前代产品,抽气时间缩短约 20%,加快产线周转节奏。设备自带一体式消音器,极限压力工况下噪音可以控制在 61dB (A) 以内,改善车间作业环境。
LS 系列包含 LS120A、LS300A、LS600A、LS1200A 四款机型,抽速区间覆盖 120~1200m³/h,分为 C 型与 L 型两个版本。C 型配备 ECO-SHOCK 节能模块,极限压力下功耗可低至 0.6kW 以下,适合空气、氮气这类洁净气体工况。L 型内部做特殊表面处理,增加吹扫功能,能够处理水汽与挥发性药液,可用于灰化、冻干等工艺。
这款真空泵不需要轴封气体,省去配套气源投入,降低长期使用成本。整机结构紧凑,占用空间更小,拆装维护操作简单,可在全压力区间持续稳定运行,也能搭配机械增压泵进一步提升抽速。泵体自带通讯输出接口,可以实时推送运行状态、告警信息,方便接入自动化产线控制系统,产品符合 CE 标准。
爱发科 LS 系列干式真空泵面向精密制造、光学镀膜、科研实验等行业。在稳定输出真空的基础上,降低能耗、维护、耗材等综合运营成本。我司作为代理,可提供产品选型咨询、技术对接与售后技术支持,结合客户真空产线工况,匹配适配的真空泵解决方案。

