升级款 ULVAC 防腐真空泵亮相！粉尘工况稳定性提升多少？

2026 年 10 月 14 日

我司代理升级款 ULVAC 爱发科 MS 系列防腐干式真空泵正式亮相。该机型在原有 LS 系列基础上完成结构升级，粉尘工况下设备连续运行稳定性大幅提升，有效解决含粉尘、腐蚀性气体工艺中泵体卡滞、磨损等难题。

设备转子与气缸等核心零部件采用特殊耐磨防腐涂层处理，抵御酸碱气体侵蚀。搭配爱发科独特大间隙深螺槽转子型线，自带高效排粉结构，粉尘不易在泵腔内部沉积堆积，相比普通干泵，大幅降低粉尘卡泵停机概率，适配锂电粉体工艺、半导体刻蚀、等离子清洗、真空烧结等会产生粉尘颗粒的严苛制程。

整机为无油干式结构，输出洁净真空，不会出现油气污染工件的情况。支持大气压限真空全压力区间不间断连续运转，工艺压力波动时也能保持稳定抽气性能。系列包含 MS120A、MS600A、MS1200A 多款机型，抽速覆盖范围广，可单独使用，也可搭配增压泵组成真空机组。

控制系统实时采集泵体温度、电流、真空度等运行参数，内置故障预警功能，方便接入产线自动化系统。设备采用模块化结构，拆装检修便捷，在粉尘腐蚀工况下，零部件磨损速度显著降低，维护周期更长，减少产线停机检修时间，降低长期运维成本。

我司作为品牌代理，可为客户提供工况评估、设备选型、工艺技术对接与售后技术支持，针对含粉尘、腐蚀性气体的复杂产线，提供匹配的真空排气方案，保障生产稳定持续进行。