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钙钛矿与半导体双场景,大塚光学量测新品重磅亮相

更新时间:2026-09-16   点击次数:30次

近期,北崎国际贸易(北京)有限公司作为大塚电子华北地区重要合作伙伴,正式推出大塚电子OPTM系列显微分光膜厚仪。该产品可同时适配钙钛矿薄膜检测与半导体晶圆量测两大场景,为新能源光伏与半导体制造领域提供了跨行业的光学量测方案。

钙钛矿场景:薄膜均匀性管控

钙钛矿电池的光电转换效率与器件稳定性,与薄膜均匀度、层厚精度密切相关,微区膜层的细微差异都可能影响最终产品性能。OPTM系列采用非接触无损检测模式,凭借微米级微区光斑,可精准定位钙钛矿薄膜、传输层、钝化层的局部点位,快速完成单层或多层复合膜的厚度、折射率、消光系数等参数测量。该设备适配实验室配方研发、中试产线批量抽检等场景,为钙钛矿成膜工艺优化提供量化数据支撑。

半导体场景:微区膜厚与光学常数解析

在半导体制造领域,OPTM系列采用显微绝对反射分光法,最小测量光斑可达φ3μm,能够精准定位晶圆上的微小图案区域。单点对焦与测量在1秒内完成,配合自动XY载台可实现整片晶圆的自动Mapping测量。该系列搭载大塚电子技术(第5172203号),可物理去除透明基板背面反射干扰,确保玻璃、石英基板上薄膜数据的真实可靠。设备支持最多50层复合膜结构运算求解,膜厚量程覆盖1nm至92μm(SiO₂换算),满足从超薄膜到厚膜的多场景表征需求。

北崎国际贸易(北京)有限公司作为大塚电子华北地区重要合作伙伴,为钙钛矿光伏、半导体制造及化合物半导体研发企业提供从设备选

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