COSMOS新宇宙-毒气反应检测器-便携式泵吸式，适用于半导体晶圆、显示面板产线，用于硅烷类自燃工艺气体管路、气瓶柜、机台接头的泄漏巡检与安全监测。

COSMOS新宇宙-毒气反应检测器-便携式泵吸式

COSMOS新宇宙-毒气反应检测器-便携式泵吸式

XP-703DIII 是新宇宙（COSMOS）专为半导体行业研发的便携式泵吸式硅烷气体检漏仪，聚焦硅烷这类遇空气极易自燃的高危工艺气体泄漏检测，是晶圆工厂、光电面板生产线日常安全巡检的核心设备。半导体制造中的薄膜沉积、化学气相沉积等工序会大量使用硅烷气体，该气体化学活性，一旦从管道、阀组、气瓶接口处发生泄漏，接触空气便有自燃风险，轻则造成机台损毁、产线停机，重则引发火灾爆炸，对车间人员生命安全带来巨大威胁。这类严苛的工况，对检漏仪器的响应速度、检测灵敏度、抗干扰能力以及现场便携性都提出了要求，XP-703DIII 正是针对这一应用场景专门优化设计。

仪器采用一体化手持机身设计，整体体积小巧，重量轻便，长时间手持巡检也不易疲劳。顶部配置细长型硬质取样探杆，能够深入管路夹缝、机台底部、气瓶柜内侧、法兰接头缝隙等常规设备难以抵达的隐蔽点位，实现定点采样检漏。设备内置稳定的微型气泵，泵吸流量恒定可控，可以快速把待测区域的气体输送至传感腔，缩短传感器响应时间，做到泄漏快速捕捉、浓度即时显示，帮助巡检人员快速定位泄漏源头。主机搭载高清液晶显示屏，屏幕读数清晰稳定，可实时展示当前硅烷气体浓度变化，界面简洁易懂，现场操作人员可以快速读取数据，判断泄漏程度，分级开展应急处置。

XP-703DIII 搭载专用高灵敏度传感元件，能够检出极微量的硅烷泄漏，在泄漏刚发生、危险尚未放大的初期阶段就触发预警，提前规避自燃风险。仪器配备声光双重报警系统，当检测浓度超过预先设定的安全阈值时，蜂鸣器和报警指示灯同步启动，即便在嘈杂的车间生产环境中，也能够清晰提醒现场工作人员，及时执行停机、隔离、通风等安全流程。机身外层配有加厚防护护套，具备优秀的抗磕碰、防刮擦能力，适配车间内高频移动巡检的使用场景，减少意外磕碰带来的设备损坏，提升仪器使用寿命。

该仪器属于半导体行业专用检漏设备，气路结构与传感器针对硅烷气体做专项调校，对车间内常见水汽、粉尘以及其他辅助工艺气体具备良好抗干扰能力，有效降低误报概率，保障检测结果稳定可靠。仪器依靠内置电池供电，续航持久，可支撑一整天不间断巡回检漏，既可以用于日常常态化安全巡检，也适用于气瓶更换、管路检修后的气密性验收。

需要注意的是，XP-703DIII 不通用其他类型可燃气体检测，选型时必须确认被测介质为硅烷类气体；投入使用前，需要使用对应标准气体完成校准，并严格按照计量检定周期定期送检标定，保证长期检测精度。凭借便携易用、响应迅速、灵敏度高、抗干扰强的优势，XP-703DIII 广泛应用于晶圆制造厂、OLED 显示面板工厂、半导体研发实验室，用于硅烷输送管路、气体分配单元、气瓶接口、反应机台的泄漏排查。它持续管控硅烷自燃气体带来的安全隐患，守护车间人员与生产设备安全，保障半导体产线持续稳定生产，是半导体特种气体安全管控的检漏工具。