COSMOS新宇宙-毒气反应检测器-泄漏检测，半导体产线专用，检测特种工艺气体泄漏，保障晶圆车间安全生产。

COSMOS新宇宙-毒气反应检测器-泄漏检测

COSMOS新宇宙-毒气反应检测器-泄漏检测

XPS-7II 是新宇宙（COSMOS）专为半导体制造行业研发的专业泵吸式气体检测器，聚焦晶圆工厂、面板工厂内特种工艺有毒、腐蚀性气体泄漏监测，是半导体产线安全防护体系中的关键检测设备。半导体制造流程复杂，刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工序会大量使用各类高危特种气体，这类气体往往毒性强、腐蚀性高，即便微量泄漏，也极易造成人员中毒、设备腐蚀，甚至引发产线停机、安全事故，因此对气体检漏设备的灵敏度、稳定性以及环境适应性都有着要求，XPS-7II 正是针对这一严苛工况量身打造。

整机采用分体泵吸式结构，配套专用取样软管与硬质取样探杆，操作人员可以灵活伸入机台底部、管路法兰接头、气瓶柜内部、阀组夹缝等常规设备难以到达的死角区域定点采样，不受空间位置限制。设备内置稳定的抽吸气泵，气流平稳可控，保证每次采集的气样均匀稳定，避免因为采样不稳定导致检测结果偏差，保障巡检数据的重复性与可靠性。主机搭载高清液晶显示屏，开机后实时直观展示当前气体浓度数值，界面简洁清晰，现场操作人员可以快速读取数据，快速判断泄漏情况。

该检测器搭载高灵敏度专用传感元件，能够捕捉极低浓度的微量气体泄漏，实现提前预警，在泄漏初期就发出警报，避免风险持续扩大。仪器内置声光双重报警机制，一旦气体浓度超过预设安全阈值，立刻触发报警信号，在嘈杂的车间环境中也能够清晰提醒现场工作人员，及时采取停机、通风、隔离等应急处置措施。同时设备具备信号输出功能，可直接对接工厂 DCS 中控系统、车间集中报警平台，把检测数据上传至产线监控中心，实现远程集中监控，适配自动化半导体工厂的智能化管理需求。

考虑到半导体工艺气体具备强腐蚀特性，XPS-7II 在气路通道、内部管路以及外壳结构上采用耐腐蚀材质打造，有效抵御各类工艺气体侵蚀，长时间连续巡检依旧能够保持稳定性能，延长传感器与整机使用寿命，降低后期维护频次与运维成本。设备体积紧凑，便于搬运摆放，既可以作为巡检仪器在车间内移动检漏，也可固定安装在气瓶柜、工艺机台旁做长期在线监测，使用方式灵活，适配不同产线布局方案。

本机型属于半导体行业专用设备，不同于通用型可燃气体、氧气检测仪，选型时需要根据现场实际使用的目标工艺气体进行匹配校准，不同检测气体对应不同传感器配置。仪器投入使用前必须完成标准气体校准，并严格按照计量检定周期定期送检标定，确保检测精度长期符合安全规范。

XPS-7II 凭借高灵敏度、强耐腐蚀性、稳定泵吸采样以及可对接中控系统等优势，广泛应用于晶圆制造厂、OLED 显示面板工厂、半导体研发实验室等场景，主要用于特种气瓶柜、气体分配单元、工艺管道、反应机台的泄漏巡检。它能够持续守护半导体车间作业人员人身安全，减少高危气体泄漏带来的安全隐患，保障半导体生产工序安全、稳定、不间断运行，是半导体行业气体安全管控的优选检漏设备。