KOSAKA小坂 超大面板全自动微细形状测定机
ET10000 超大面板测定机，高精度全自动，客制化大范围行程，可选自动上下料。

KOSAKA小坂 超大面板全自动微细形状测定机

KOSAKA小坂 超大面板全自动微细形状测定机

ET10000 属于大尺寸面板系列机型，专为超大尺寸面板高精度全自动检测设计。X/Y 测定行程可以按照实际面板尺寸客制化定制，可选购面板 Load/Unload 自动上下料功能，实现完整自动化上下料与检测闭环。整机机架、传动机构针对超大板负载做强化设计，在大行程移动条件下，依旧维持稳定的纳米级测量精度。

再现性 1σ 1nm 以内；Z 测定范围 0.5μN‑50μN，X/Y 行程客制化；分解能 Z：0.1nm，X：0.1μm；测定力 0.5μN‑500μN（0.05mg‑50mg）宽范围可调。客制化 X/Y 行程可以覆盖更大规格面板；自动上下料选件适配高节拍产线，减少人工操作。

大量应用于高世代液晶面板、超大尺寸 OLED 面板、大面积显示基板的微细形状、段差、表面粗糙度全自动检测。设备能够直接对接面板工厂自动化产线，完成样品自动输送、定位、扫描、输出报告、样品送出整套流程。可调式低测定力，保护面板脆弱膜层，避免检测过程划伤工件。整机稳定性高，适合工厂长时间连续运行。设备服务大型面板制造企业产线品质管控岗位，满足超大尺寸显示基板的批量检测需求，为超大规格显示器件微细加工质量，提供可靠的自动化检测保障。