KOSAKA小坂 大尺寸全自动微细形状测定机
ET5100 大尺寸面板测定机，高精度全自动，客制化行程，适配大面板微细形状检测。

KOSAKA小坂 大尺寸全自动微细形状测定机

KOSAKA小坂 大尺寸全自动微细形状测定机

ET5100 是面向大尺寸面板开发的专用微细形状测定设备，主打高精度全自动检测大尺寸面板工件。X/Y 轴测定行程可以依据客户实际面板尺寸做定制化生产，同时支持选配面板 Load/Unload 自动上下料模块，对接产线自动化流程，满足工厂大批量在线检测需求。整机机械结构针对大板负载做刚性优化，保障大行程移动状态下测量精度。

设备再现性 1σ 1nm 以内；Z 轴测定范围 0.5μN‑50μN，X、Y 行程支持客制化；分解能 Z：0.1nm，X：0.1μm；测定力 0.5μN‑500μN（0.05mg‑50mg）可调。客制化 X/Y 行程，能够匹配不同世代规格面板；选配自动上下料机构，可实现样品自动送入、送出，减少人工介入。

主要用于大尺寸液晶面板、OLED 面板、大面积光学基板，完成微细形状、台阶段差、表面粗糙度全自动检测。可直接接入面板产线，融入自动化生产体系，自动完成面板上下料与整套检测流程，减少人工搬运对位。高精度检测能力，量化面板微细加工品质，客制化行程适配不同世代面板尺寸，不用裁切大板即可完成检测。设备适合面板制造企业产线品质管控工位，替代人工抽检，提升检测效率与数据一致性，为大尺寸显示器件微细表面质量，提供自动化检测解决方案。