日本 Photonic超大视场晶圆级双折射评估仪
超大视场晶圆级双折射评估仪 PA‑300‑XL，超大检测视场，适配大尺寸晶圆、玻璃，完成低位相差样品全域应力检测。

日本 Photonic超大视场晶圆级双折射评估仪

日本 Photonic超大视场晶圆级双折射评估仪

PA‑300‑XL 超大视场晶圆级双折射评估仪，属于 PA‑300 系列超大视场机型，专门面向大尺寸低位相差透明工件检测开发，依托光子晶体偏振成像技术，无需旋转光学部件，整机故障率低，维护便捷。

设备拥有超大观测视场，无需移动样品扫描，单次成像即可完成大面积样品全域检测，输出相位差、光轴角度二维分布云图，数秒即可完成一次完整测量，大幅提升大尺寸工件检测效率。针对低位相差样品做性能优化，能够捕捉微弱的双折射信号，完整还原样品全域应力分布，精准识别局部微小应力异常点位。

整机底座刚性强，升降调节行程充足，兼容多种厚度规格样品。设备调试简单，样品放置到位即可开展测试，上手门槛低，既满足实验室大尺寸试样研发对比，也适配工厂产线高频次抽检作业。检测输出可视化应力云图，直观展示材料内部残余应力分布，快速定位应力集中与工艺缺陷。

主要适配各类大尺寸光学玻璃、晶圆、宽幅光学薄膜、大口径光学基板、显示面板基材等低位相差工件。可开展来料品质筛查、成型工艺验证、退火效果比对、成品品质判定。量化残余应力数值，帮助技术人员优化热加工、退火等工艺，规避残余应力带来的光学畸变、成像不良等产品问题。

配套专业分析软件，支持检测数据查阅、多组样品测试结果比对、检测报告生成归档，方便实验资料统一留存管理。设备兼顾检测精度与连续作业稳定性，为大尺寸低位相差光学材料的双折射与残余应力评估，提供高效可靠的检测方案。