ULVAC爱发科多级根式干式真空泵
6级排气系统/内置恒温器，干燥性能相当于油旋转真空泵。

ULVAC爱发科多级根式干式真空泵

ULVAC爱发科多级根式干式真空泵

规格

支持的标准/电压

使用注意事项

真空乃至超高真空的完整产品体系，可满足从实验室研发到大规模工业量产的多样化抽气需求。产品包含油润滑真空泵、干式真空泵、涡轮分子泵、低温泵等多种结构，依靠容积压缩、动量传输、低温吸附等不同物理原理完成密闭腔体内部气体抽取，适配各类复杂工况环境。

油润滑真空泵依靠真空油实现密封、润滑与冷却，结构紧凑，安装调试便捷，具备优秀的经济性，适合常规镀膜、真空干燥、通用科研设备等场景。部分机型配置气镇结构，能够处理水汽含量较高的气体，长时间连续运转稳定性强，是真空系统常用的前级抽气设备爱发科商贸...。

干式真空泵泵腔内部不使用润滑油，从根源规避油蒸汽返流污染工件与腔体的问题，实现洁净真空环境。内部转子间隙精密控制，部分工况机型泵腔内壁做特殊防腐涂层处理，可应对腐蚀性工艺气体、粉末与有机溶剂蒸汽，适配严苛生产制程。设备振动与噪音水平低，部分机型支持风冷设计，无需配套水冷系统，整机布局灵活，便于集成到成套设备内部。

涡轮分子泵与低温泵主要面向高真空、超高真空领域。涡轮分子泵依靠高速旋转叶片对气体分子传递动量完成排气，运行过程无油污染，适合精密分析仪器、光学工艺。低温泵借助制冷单元制造超低温表面，将气体分子冷凝吸附，可获得洁净度的真空，对水蒸气抽除能力突出，泵体内部无运动部件，运行噪声小爱发科商贸...。

爱发科真空泵重视长期运行可靠性，设备内置过热、断电等多重保护机制，部分产品支持通讯对接，可实现运行状态远程监测。产品广泛应用于半导体、平板显示、光伏新能源、光学镀膜、化工制药、热处理、科研分析仪器等行业。面对 24 小时不间断量产产线，或是空间有限的实验室设备，都可以匹配对应的真空获取方案，凭借稳定的真空输出、合理的维保周期，帮助设备维持工艺稳定性，降低停机风险，是真空工艺系统里的核心基础装备。