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ULVAC爱发科多级根式干式真空泵

更新时间:2026-08-24

简要描述:

ULVAC爱发科多级根式干式真空泵
通过在低温区调平泵体,不仅适合PVD工艺,也适用于酿造和排放室的排气,因为缩短排气时间对提高产出尤为重要。

型号:LR60点击量:4

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ULVAC爱发科多级根式干式真空泵

ULVAC爱发科多级根式干式真空泵

规格

模型LR60LR90LR180LR421LR421-T
最大排气速度50Hzm3/h
(L/min)
62 (1030)112 (1860)183 (3100)440 (7333)
60Hzm3/h
(L/min)
80 (1333)126 (2100)237 (3950)440 (7333)
到达压力5.0 Pa
最大进气压力(进气压力)大气压
最大排气出口压力(排放压力)1Pa ~ 大气压
进气口(CE规范)VG50(KF50)VG80(KF50)VG100
排气口KF40VG50
质量KG180245335415
电力 *1三相VAC (Hz)200 (50/60) , 220 (60)180~240 / 380~440(50/60)
现值稳定的时间A6.9(200伏时)11.2(200伏)18.9(200伏时)20.8(200伏时)
最大值A7.3(200伏时)11.8(200伏时)20.6(200伏时)48.5(200伏时)
临时冷却剂压力MPa0.1~0.30.2~0.5
冷却水进出口的压力差MPa>0.1>0.2
冷却水流量L / min>5.0>4.0
净化气体初级压力MPa0.1~0.5
次级压力MPa0.05~0.1
N2 清洗行动轴心SLM5
加斯伯勒SLM0~45没有0~45

*1 下单时请注明。


模型LR300LR600LR1200LR1800LR3601LR3601-T(TT)LR3601-RLR3601-TR(TTR)
使用的泵DRPLR60LR90LR90LR180LR421LR421-TLR421LR421-T
MPBPRC-003APRC-006APRC-012APRC-018APRC-036CPRC-036C(-T)PRC-036DPRC-036D(D-T)
最大排气速度50Hzm3/h
(L/min)
359
(5,980)
653
(10,900)
1,012
(16,900)
1,701
(28,350)
3,200 (53,333)
60Hzm3/h
(L/min)
365
(6,080)
701
(11,700)
1,051米
(17,500)
1,784
(29,700)
3,200 (53,333)
到达压力0.67 Pa
最大进气压力(进气压力)大气压
最大排气出口压力(排放压力)1Pa ~ 大气压
进气口(CE规范)VG80(KF80)VG100
(KF100)
VG150
(KF100)
VG150
排气口KF40KF50
MBP表面处理〇 *2〇 *2〇 *2〇 *2×T:×
TT:×
×TR:×
TTR:〇
质量KG275370420545660720660720
电力 *3三相VAC (Hz)200 (50/60), 220 (60)180~240 / 380~440(50/60)
现值稳定的时间A7.0
(200伏时)
12.3
(200伏)
13.7
(200伏)
21.4
(200伏时)
31.0(200伏时)
20.5伏(400伏时)
35.4(200伏时)
20.5伏(400伏时)
最大值A9.6
(200伏时)
19.0
(200伏时)
24.2
(200伏)
39.8
(200伏时)
58.4(200伏时)
40.5伏(400伏时)
82.0(200伏)40.5
伏(400伏)
临时冷却剂压力MPa0.1~0.30.2~0.5
冷却水进出口的压力差MPa>0.10.1~0.30.2~0.5
冷却水流量L / min>5.0>4.0
净化气体初级压力MPa0.1~0.5
次级压力MPa0.05~0.1
N2 清洗行动轴心SLM5
加斯伯勒SLM0~45无 *40~45无 *40~45

*可选2个MBP,适用于LR300、LR600、LR1200和LR1800,并可选择是否进行表面处理。
*3 订购时请注明。
*4 根据应用不同,也可以估算燃气灯泡的使用规格。


真空乃至超高真空的完整产品体系,可满足从实验室研发到大规模工业量产的多样化抽气需求。产品包含油润滑真空泵、干式真空泵、涡轮分子泵、低温泵等多种结构,依靠容积压缩、动量传输、低温吸附等不同物理原理完成密闭腔体内部气体抽取,适配各类复杂工况环境。

油润滑真空泵依靠真空油实现密封、润滑与冷却,结构紧凑,安装调试便捷,具备优秀的经济性,适合常规镀膜、真空干燥、通用科研设备等场景。部分机型配置气镇结构,能够处理水汽含量较高的气体,长时间连续运转稳定性强,是真空系统常用的前级抽气设备爱发科商贸...。

干式真空泵泵腔内部不使用润滑油,从根源规避油蒸汽返流污染工件与腔体的问题,实现洁净真空环境。内部转子间隙精密控制,部分工况机型泵腔内壁做特殊防腐涂层处理,可应对腐蚀性工艺气体、粉末与有机溶剂蒸汽,适配严苛生产制程。设备振动与噪音水平低,部分机型支持风冷设计,无需配套水冷系统,整机布局灵活,便于集成到成套设备内部。

涡轮分子泵与低温泵主要面向高真空、超高真空领域。涡轮分子泵依靠高速旋转叶片对气体分子传递动量完成排气,运行过程无油污染,适合精密分析仪器、光学工艺。低温泵借助制冷单元制造超低温表面,将气体分子冷凝吸附,可获得洁净度的真空,对水蒸气抽除能力突出,泵体内部无运动部件,运行噪声小爱发科商贸...。

爱发科真空泵重视长期运行可靠性,设备内置过热、断电等多重保护机制,部分产品支持通讯对接,可实现运行状态远程监测。产品广泛应用于半导体、平板显示、光伏新能源、光学镀膜、化工制药、热处理、科研分析仪器等行业。面对 24 小时不间断量产产线,或是空间有限的实验室设备,都可以匹配对应的真空获取方案,凭借稳定的真空输出、合理的维保周期,帮助设备维持工艺稳定性,降低停机风险,是真空工艺系统里的核心基础装备。


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