2026-07-082026-07-152026-07-162026-07-102026-07-162026-07-112026-07-082026-07-072026-07-022026-07-17更新时间：2026-07-22
免费咨询：15510016038.
OTSUKA大塚电子Smart膜厚仪
OTSUKA大塚电子Smart膜厚仪
产品信息
特点
● 可携带至现场的手持式
● 可测量0.1μm单位
● 具有形状的样品也可非破坏的测量
● 不论基材材质、可测量其镀膜
测量原理
Smart膜厚仪采用反射分光法(光学干涉法)测量薄膜厚度。例如,在测量基底上的镀膜时，从样品上方入射的光会在薄膜表面发生反射(图中R1)。而穿透薄膜的光会在基底与薄膜的界面处发生反射(图中R2).通过测量由光程差异引起的相位偏移(相位差)所产生的光学干涉现象，可根据测得的反射光谱与折射率计算出薄膜厚度。
Smart手持式膜厚仪与其他膜厚仪的比较
●与桌上型光学膜厚仪相比，Smart膜厚仪在“现场"以非破坏式直接量测样品，且可以量测特殊形状样品。
●与接触式膜厚仪相比，Smart膜厚仪不仅不会破坏您的样品，也不会因用户不同而产生误差且远高于接触式膜厚的量测精度。
●与涡电流/电磁式膜厚仪相比，Smart膜厚仪不需要制作检量线，且可以量测非金属基材并且得到绝对值！
不需要量测经验，可快速得到精准的膜厚结果。
规格样式
| 品名 | Pro | Standard |
| 型号 | SM-110PO | SM-110SO |
| 测量原理 | 反射分光法（光学干涉法） | |
| 测量膜厚范围 | 0.1–100 μm (单层), 1–100 μm (多层) 当折射率为 1.6 时 | 1–50 μm (单层) 当折射率为 1.6 时 |
| 支持多层测量 | 最多支持 3 层 | 单层 |
| 显示反射率 / 功率谱 | ○ | － |
| 测量波长范围 | 400 - 1000 nm | |
| 测量重复性 | 2.1σ < 0.01 μm (SiO2 1 μm) | |
| 测量光斑直径 | Φ1 mm 及以下 | |
| 数据输出类型 | 可导出为 CSV 文件并保存至 U 盘 | |
| 主机尺寸 | 约 H54 × W138 × D198 mm (含突出部分) | |
| 主机重量 | 约 1.1 kg | |
发邮件给我们：hsy@kitazaki.cn