2026-07-082026-07-152026-07-162026-07-102026-07-162026-07-112026-07-082026-07-072026-07-022026-07-17更新时间：2026-07-22
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OTSUKA大塚电子显微分光膜厚仪
OTSUKA大塚电子显微分光膜厚仪
● 非接触、非破坏式，量测头可自由集成在客户系统内
● 初学者也能轻松解析建模的初学者解析模式
● 高精度、高再现性量测紫外到近红外波段内的绝对反射率，可分析多层薄膜厚度、光学常数（n：折射率、k：消光系数）
● 单点对焦加量测在1秒内完成
● 显微分光下广范围的光学系统（紫外 ~ 近红外）
● 独立测试头对应各种inline定制化需求
● 最小对应spot约3μm
● 可针对超薄膜解析nk
量测项目
● 绝对反射率分析
● 多层膜解析（50层）
● 光学常数（n：折射率、k：消光系数）
膜或者玻璃等透明基板样品，受基板内部反射的影响，无法正确测量。OPTM系列使用物镜，可以物理去除内部反射，即使是透明基板也可以实现高精度测量。此外，对具有光学异向性的膜或SiC等样品，也可不受其影响，单独测量上面的膜。
应用范围
● 半导体、复合半导体：硅半导体、碳化硅半导体、砷化镓半导体、光刻胶、介电常数材料
● FPD：LCD、TFT、OLED（有机EL）
● 资料储存：DVD、磁头薄膜、磁性材料
● 光学材料：滤光片、抗反射膜
● 平面显示器：液晶显示器、薄膜晶体管、OLED
● 薄膜：AR膜、HC膜、PET膜等
● 其它：建筑用材料、胶水、DLC等
规格式样
（自动XY平台型）
OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 | |
|---|---|---|---|
波长范围 | 230 ~ 800 nm | 360 ~ 1100 nm | 900 ~ 1600 nm |
膜厚范围 | 1nm ~ 35μm | 7nm ~ 49μm | 16nm ~ 92μm |
测定时间 | 1秒 / 1点以内 | ||
光径大小 | 10μm (最小约3μm) | ||
感光元件 | CCD | InGaAs | |
光源规格 | 氘灯 卤素灯 | 卤素灯 | |
尺寸 | 556(W) X 566(D) X 618(H) mm (自动XY平台型的主体部分) | ||
重量 | 66kg（自动XY平台型的主体部分） | ||
发邮件给我们：hsy@kitazaki.cn