环境与放置检查
将泵体放置在水平、干燥通风台面，机身四周预留 20cm 以上散热空间，避开酸碱挥发、粉尘堆积区域；无尘车间内需放置在防静电工作台，地面铺设导电地垫。
工具与配套物料准备
绝缘剥线钳、十字绝缘螺丝刀、绝缘胶带、万用表、3×5mm 真空软管、L 型标准接头、稳压 AC100V 电源、防静电接地线；无尘场景配套洁净无尘布擦拭管路与泵体接口。
基础外观预检
目视检查机身外壳无开裂、进出气 HEPA 滤芯无破损、透明观察窗无裂痕、出线电源线外皮无磨损裸露；管路接头密封圈完整无硬化开裂。
电气安全前置要求
操作前断开稳压电源总开关，执行挂牌上锁流程，全程断电开展接线作业，杜绝带电操作触电风险。
使用剥线钳轻剥稳压电源输出端线缆绝缘皮，露出铜芯长度控制在 5mm，不出现铜丝散丝分叉。
FV-30 出线共两根动力线，无正负极区分，分别接入稳压电源 AC100V 输出端子，螺丝刀均匀拧紧端子螺丝，线缆无松动、挤压破损。
线缆弯折处预留松弛余量，避免设备振动拉扯接线端子，接线点位包裹绝缘胶带隔离裸露金属部位。
找到机身底部金属接地螺钉，取下螺钉，将防静电接地线铜环垫片套入螺钉复位锁紧。
接地线另一端连接工作台接地汇流排，使用万用表测量接地通路，保证导通稳定，降低气流摩擦产生静电击穿元器件的概率。
进气口安装配套 L 型接头，插接 3×5mm 真空软管，软管另一端对接真空吸笔、吸附工装；排气口保留通畅，不封堵、不加装节流阀。
软管两端插接到位，轻拉管路确认无脱落风险，管路尽量缩短长度，减少气流压降造成负压衰减。
复查电源端子、接地螺钉、管路接头三处连接点位，确认全部紧固。
万用表调至交流电压档，空载测量稳压电源输出端电压，数值稳定在 AC100V 区间内，无电压偏高、偏低情况。
气路滤芯检查
透过机身透明观察窗查看进气 HEPA 滤芯，滤芯无大面积积灰、无异物堵塞；滤芯仓卡扣闭合到位，无缝隙漏气。
泵腔状态检查
轻晃整机，内部无异物碰撞异响，隔膜、阀片无卡滞风险；整机无倾斜摆放，底脚贴合工作台面。
管路密封性预检
封堵软管末端吸嘴，人为封闭整条真空回路，确认管路无肉眼可见缝隙、孔洞。
周边安全确认
线缆不挤压、不缠绕，无接触尖锐金属边角；稳压电源周边无纸张、无尘布等易燃物料。
解除挂牌上锁，闭合稳压电源总开关，设备线圈通电启动，隔膜开始高频往复运行。
启动后 30 秒听觉、振动观测
贴近机身聆听运行声响，正常状态为均匀轻微振动声，无尖锐摩擦、撞击异响；手部轻触机身，振动幅度平缓，无异常抖动。
负压数值检测
将负压表接在管路中间，空载运行 2 分钟，观察负压逐步下降，稳定后区间接近 - 50kPa；若负压数值偏高，排查管路接头密封情况。
气路通畅测试
松开软管末端封堵，负压数值快速回升至常压，代表进气、排气气路通畅，单向阀开合无卡滞。
异常断电处置
运行中出现异响、机身异常升温、负压持续不足，立即断开总电源开关，排查接线、滤芯、管路故障后再次试机。
试运行无异常后，连接生产工装开展元器件吸附作业，单次连续运行时长不超过 8 小时，中途可停机 10 分钟辅助散热。
运行过程每小时简易巡检一次，巡检内容包含三项：机身表面温度、滤芯积灰状态、管路接头是否漏气。
无尘作业时，避免粉尘、药液挥发气体长时间被吸入泵体，减少滤芯、隔膜损耗速度。
禁止长时间封闭进气口持续抽气，容易加剧隔膜疲劳形变，缩短部件使用周期。
先取下工装吸嘴，断开工件密封吸附状态，让管路连通大气平衡内部负压。
保持设备空载运行 1 分钟，排出泵腔内部残留粉尘、微量水汽。
断开稳压电源总开关，等待隔膜停止往复振动。
若当日不再使用，拔掉电源输出端子，拆除真空软管，使用无尘布封堵泵体进出气口，阻挡车间粉尘进入滤芯仓。
松开接地螺钉收纳接地线，整理电源线、真空软管，整齐摆放避免弯折破损。
无尘布擦拭机身外壳、管路外表面，清除表面浮尘，维持工位洁净度。
记录当日运行时长、负压稳定状态、滤芯积灰程度，便于预判滤芯更换节点。
长期停用（超过 7 天），将设备存放于干燥防尘收纳区域，管路、泵口全程封堵。
全程仅适配 AC100V 稳压电源，禁止搭配升压、简易调压装置，电压波动幅度过大会损伤电磁线圈。
接线、拆机维护必须断电操作，带电插拔线缆会造成端子打火，损坏电路组件。
排气口不可对准晶圆、光学镜片等工件，排气气流携带微量隔膜磨损微粒，可能造成产品表面瑕疵。
出现机身发烫、异响、负压持续衰减等情况，立刻停机断电，不持续带故障运行。
