KOSAKA小坂 大尺寸全自动微细形状测定机 ET5100 大尺寸面板测定机，高精度全自动，客制化行程，适配大面板微细形状检测。

KOSAKA小坂 高性能泛用微细形状测定机 ET4000M 高性能泛用测定机，泛用型设计，全自动检测，宽测定力范围适配多样品。

KOSAKA小坂 大型工件全自动微细形状测定机 ET4000L 大型工件全自动测定机，适配大尺寸样品，全自动检测，纳米级高分解能。

KOSAKA小坂 多机能全自动微细形状测定机 ET4000A 多机能全自动测定机，全自动检测，0.3nm 级再现性，适配 FPD 基板晶圆段差粗度。

KOSAKA小坂 三次元微细形状测定机 ET200A‑3D‑三次元测定机，3D 表面形貌测量，高分解能，微小测定力适配软质试料。

KOSAKA小坂 电动 Y 轴二次元微形状测定机 ET200A‑D‑电动 Y 轴测定机，2D 测量配电动 Y 轴，高分解能，微小测定力适配软质样品。

KOSAKA小坂 二次元微细形状测定机 ET200A 二次元微细形状测定机，高分解能，微小测定力，适配软质试料段差与粗糙度检测。

KOSAKA小坂 高辨数位复合粗糙度轮廓测定机 DSF‑L800 高分辨率数位测定机，内置数字传感器，一扫描双项检测，自带过载防护。

KOSAKA小坂 数位式复合粗糙度轮廓测定机 DSF‑K800 数位测定机，单次扫描同时测轮廓与粗糙度，高级解析，标配检出器过载停止。

KOSAKA小坂 高分解能复合粗糙度轮廓测定机 SEF800‑N 高分解能复合测定机，检出器互换，高 Z 向分辨率，自带过载停止防护。