Ohara小原 i 线超高透过高均匀光学玻璃
365nm i 线光刻、大口径曝光镜头，全口径最高透过率光学基材。

Ohara小原 i 线超高透过高均匀光学玻璃

Ohara小原 i 线超高透过高均匀光学玻璃

S-FSL5Y 是系列中透过率最高型号，365nm/10mm 内部透过率高达 0.999，耐日晒良好。Φ160mm 以下均匀性 1.0×10⁻⁶，Φ210mm 以下 1.6×10⁻⁶，Φ260mm 以下 2.0×10⁻⁶，是全系均匀性优等级。ni 批内误差 ±2×10⁻⁵，性能公差 + 15±20×10⁻⁵。适合光刻曝光镜头、大口径紫外光学系统，对透过率与均匀性要求最严苛的半导体光刻装置选用。

北崎国际贸易（北京）有限公司  代理品牌.

SEN日森，CCS晰写速，NPM日脉，SERIC索莱克，SONIC索尼克，SANKO三高，NEWKON新光，SIBATA柴田，SUGIYAMA杉山电机，TORAY东丽，EBARA荏原，MATSUO松尾，NIKKATO日陶，HEIDON新东科学，JIKCO吉高，OTSUKA大塚电子，ITOH伊藤，EYE岩崎，REVOX莱宝克斯，TOKI东机产业，HAYASHI林时计，OHKURA大仓，ULVAC爱发科，ANALYZER第一热研，NFK南国工业株式会社，kakuhunter写真化学，WATSON沃森，RIYYO理阳，ESSGES宜格斯，ATAGO爱拓，PFERD马圈，TEMTOP乐控，TSUBAKI椿本，美国 MWComponents， THOMAS托马斯