Ohara小原 i 线批内低误差高均匀光学玻璃
365nm i 线批量光学件、一致性要求高镜头，Φ260mm 大口径均匀基材。

Ohara小原 i 线批内低误差高均匀光学玻璃

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BSL7Y 365nm/10mm 内部透过率 0.998，耐日晒良好。全口径段均匀性与 S-FSL5Y 同级：Φ160mm 以下 1.0×10⁻⁶、Φ210mm 以下 1.6×10⁻⁶、Φ260mm 以下 2.0×10⁻⁶。ni 批内误差仅 ±1×10⁻⁵，是全系批内一致性优型号，性能公差 + 20±20×10⁻⁵。适合批量生产光刻透镜、多镜片组一致性要求高的紫外光学系统，降低装配后色差与像差补偿难度。

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