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Ohara小原 i线用高均匀性光学玻璃

更新时间:2026-10-07

简要描述:

Ohara小原 i线用高均匀性光学玻璃
365nm i 线光刻曝光、小型光学系统,Φ160mm 以下高均匀光学基材。

型号:S-FPL51Y点击量:50

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Ohara小原 i线用高均匀性光学玻璃

Ohara小原 i线用高均匀性光学玻璃

S-FPL51Y 是 Ohara 小原 i 线高均匀性光学玻璃系列入门规格,365nm 波长 10mm 厚度内部透过率 0.997,耐日晒性能良好。Φ160mm 口径以下光学均匀性达 2.0×10⁻⁶,ni 批内误差 ±2×10⁻⁵,性能公差 + 20±20×10⁻⁵。适合小口径光刻透镜、紫外光学系统,满足小型曝光装置与精密紫外仪器的光学选材需求。

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