KOSAKA小坂 高性能泛用微细形状测定机
ET4000M 高性能泛用测定机，泛用型设计，全自动检测，宽测定力范围适配多样品。

KOSAKA小坂 高性能泛用微细形状测定机

KOSAKA小坂 高性能泛用微细形状测定机

ET4000M 是 ET4000 系列高性能泛用型全自动微细形状测定机，兼顾测量精度、运行稳定性与机能扩展性，适配多行业不同材质工件，开展微细形状、台阶段差、表面粗糙度检测。设备采用全自动测量流程，泛用化设计，不用更换硬件就可以应对多种类型样品，适用场景更广。

最大试片尺寸 210×210mm～300×400mm，再现性 1σ 0.3nm 以内。测定范围 Z：100μm，X：100mm，Y 移动量 150‑400mm；分解能 Z：0.1nm，X：0.01μm；测定力 0.5μN‑500μN 宽区间可调。可根据样品软硬程度自由选择合适测定力，硬质金属、脆性基材、软质薄膜都可以适配检测。

适配半导体、光学行业、精密机械、新材料科研等众多领域微细表面检测工作。一台设备可以覆盖段差高度、表面粗糙度、微细轮廓形貌等多项检测项目。全自动检测流程降低操作人员门槛，编写好测量程序后，即可批量完成样品测试。设备测量重复性优异，输出的数据可用于工艺对比、来料品质判定、研发验证。软件解析功能丰富，支持自定义报告格式，方便内部归档。整机综合机能丰富，适合希望单台设备覆盖多种检测任务的实验室与品质部门，为多样化微细制造行业，提供通用性强的高精度接触式检测方案。