KOSAKA小坂 电动 Y 轴二次元微形状测定机
ET200A‑D‑电动 Y 轴测定机，2D 测量配电动 Y 轴，高分解能，微小测定力适配软质样品。

KOSAKA小坂 电动 Y 轴二次元微形状测定机

KOSAKA小坂 电动 Y 轴二次元微形状测定机

ET200A‑D‑是 ET200A 系列升级版本，保留原版全部高精度检测能力，搭载电动 Y 轴模块，依旧做二次元 2D 测量。设备可完成二次元表面粗糙度解析与段差高精度测定，拥有高分解能与良好测量安定性，微小测定力配置，能够对软质试料面开展检测，规避探针压坏样品的问题。电动 Y 轴可自动移动调整测量位置，减少人工手动移位带来的对位偏差，提升多点检测的一致性。

最大试片尺寸 φ200mm× 高度 52mm，最大承载质量 2kg；外形 W500×D440×H630mm，整机重量约 120kg。测量再现性，600μm 全行程范围 1σ 1nm 以内；1μm 以下小量程条件下可达 1σ 0.2nm 以内。依靠电动 Y 轴，能够在同一个工件上设定多处检测点位，设备自动移动到对应位置依次完成扫描，无需操作人员反复挪动样品。

适合晶圆、功能薄膜、光学元件、微纳结构零部件开展多点位段差高度、粗糙度检测。面对需要在样品多个不同区域重复采集数据的工作场景，电动 Y 轴可以有效提升检测效率，降低人为操作带来的定位误差。微小测定力继续保护软质娇嫩样品表面，高分解能捕捉纳米级细微形貌变化。测量数据稳定可靠，可用来做工艺对比、来料品质管控、研发项目验证。整机机身紧凑，对实验室场地要求不高，软件支持批量点位测量程序编辑，可把常用检测流程保存调用，减少重复设置，为微细加工行业提供稳定可靠的纳米级检测方案。