NKS长野计器 半导体高温压力传感器
在半导体制造设备中，该压力传感器可通过将传感器单元与专用放大器结合，直接测量高达120°C的高温流体。

NKS长野计器 半导体高温压力传感器

NKS长野计器 半导体高温压力传感器

ZT17 是长野计器 NKS 半导体行业高温压力传感器，分为 120℃标准版与 200℃高温版，采用无封入液结构，消除传统充液传感器封液析出、污染高纯工艺气体的风险，探头与放大器分离设计，探头耐受高温，放大器放置低温区域，保护后端电路器件长野计器。量程覆盖‑0.1‑20MPa 多档，23℃精度 ±0.5% F.S，120℃版本温度补偿上限 120℃，200℃版本补偿区间 15‑200℃，零点漂移 ±1.0% F.S，量程漂移 ±3.0% F.SAstem...。

接气部件采用 SUS316L、钴镍合金材质，支持 EP、UC 洁净等级，接头有 T 型一体锻造、S 型两种结构，适配 1/4VCR、1/2‑3/8VCR、1/4UJR 半导体标准管路接口，氦检焊接密封，内部死容积小，减少气体滞留，适配高纯、腐蚀性特种工艺气体长野计器。传感器本体无放大电路，必须搭配专用放大器单元，输出 4‑20mA 两线制或 1‑5V 三线信号，供电 10‑30VDC，放大器单元具备外部零点调节旋钮，现场调试便捷，满足 CE、RoHS 指令要求长野计器。

120℃型号适合普通高温供气管路；200℃型号可直接安装在固态源气化器高温管段，不用加长冷却引压管路，消除压力滞后问题，实时反馈气化压力，和常温 ZT11 形成区分，ZT11 用于常温高纯气体，ZT17 针对高温工况。该型号无防爆认证，易燃易爆危险场所不能直接使用。

广泛用于半导体 CVD、ALD、固态源气化装置、氢能供气设备，监测高温前驱体工艺气体压力，保障工艺稳定，多用于设备内置集成。选型确认温度版本、量程、接头规格、洁净等级，务必配套专用放大器。

本产品属于设备配套传感器单体，不做实验室计量级标准校验，不适合高压爆破高速压力采集场景。追求洁净无析出、设备高温测点优先选用 ZT17 系列。