NKS长野计器 半导体行业压力传感器
该器件是一种半导体压力传感器，采用气相沉积半导体应变计。 我们新增了一系列安全增强的防爆结构产品，进一步提升设备使用时的安全性

NKS长野计器 半导体行业压力传感器

NKS长野计器 半导体行业压力传感器

ZT11 是长野计器 NKS 面向半导体高纯工艺开发的压力变送器，采用蒸镀半导体应变片传感元件，本体小型轻量化，支持表压、复合压力、绝对压力多种测量模式，量程覆盖 0.3MPa‑20MPa 多档，常温精度 ±0.25% F.S，温度漂移低至 ±0.02% F.S/℃，两线制 4‑20mA 输出，供电 10‑30VDC，防护等级 IP67，适配洁净高纯气体管路工况长野计器。

接气部件采用 SUS316L 焊接结构，标配 EP、GP 洁净等级，可选哈氏 C‑22 等同级 UC 高耐蚀规格，适配腐蚀性特种工艺气体。管路接口支持 1/4VCR、1/2‑3/8VCR、1/4UJR 等半导体行业标准接头，T 型一体锻造、S 型两种结构可选，内部容积小，氦检密封，降低介质滞留污染风险。壳体侧面设置外部零点调节旋钮，现场调试操作便捷，不需要拆解设备本体长野计器。

产品线包含普通型与安全增防爆型号，防爆版本取得 IECEx、ATEX、NEPSI 认证，可直接用于 Zone2 危险区域，无需额外配置安全栅，适配化工、半导体防爆生产现场。整机满足 CE、RoHS 要求，适合设备内部集成配套，不适合实验室高压爆破高速压力采集场景。

广泛用于半导体 CVD、刻蚀、气体供给系统、氢能设备，实时监测高纯工艺气体压力，对接 PLC、工控采集系统，实现工艺压力监控与联锁保护。对比 ZT17 高温型号，ZT11 面向常温高纯气体工况，主打洁净等级与防爆选型。

选型确认量程类型、接气材质等级、VCR 接头规格，普通工况选用标准款，易燃易爆区域选用安全增防爆版本。该产品为 OEM 设备配套变送器，不做计量级标准校验，危险工况务必严格按照防爆规范完成接线安装