CKD 喜开理紧凑流量控制器，集成检测调节阀体，精准管控多种工艺气体流量，实现闭环恒定供气控制。

CKD 喜开理紧凑流量控制器将流量传感、比例调节、阀体单元集成一体，体积小巧节省控制柜与管路空间，依靠闭环 PID 算法完成气体流量恒定控制，适配空气、氮气、氩气等多种工艺气体，多用于氮气吹扫、保护气供气、理化设备微量供气工位。产品分为树脂阀体与不锈钢阀体两种版本，不锈钢款满足高纯气体工况，可抑制杂质析出，适配半导体、新能源洁净产线。整机压力损失低，受上游气源波动影响小，自带数显屏幕，现场直接查看实时流量与设定参数，供电采用标准 24V 工业电源，支持开关量、模拟量以及工业总线通讯，方便接入 PLC 控制系统。

CKD 喜开理紧凑流量控制器内置微型比例阀，根据传感器采集的实际流量动态调节阀门开度，快速把流量稳定在目标数值，响应速度快，可适配设备高速工序切换。设备具备流量上下限报警、累计流量计数、到达累计流量关闭阀门等多项功能，开关输出可自定义常开常闭模式，出现异常工况能够输出故障信号。产品线量程覆盖微小流量到大流量区间，可按照工艺需求选择规格，配管可选快插接头与螺纹接口，安装方向不受限制。部分型号提供禁油版本，满足氧气、高纯气体使用要求，参数断电保存，多台设备调试时可复制参数，减少现场设置工时，新旧设备改造均可直接装配。

该产品广泛应用于半导体后段设备、理化分析仪器、焊接保护气工装、包装设备以及新能源相关装置，保障工艺气体流量稳定一致，减少工艺波动带来的产品不良。一体化集成设计省去传感器与调节阀分开选型配管的麻烦，简化气路布局。整机抗干扰性能良好，适应车间工业环境，后期维护简单，定期清理管路杂质即可。批量项目选型灵活，和同系列气动传感元件适配性高，是精密工艺供气回路当中实现气体定量管控十分关键的流体控制配件。