ULVAC爱发科高洁净低温泵
实现无油超高真空，不存在泵油挥发污染，保护晶圆、光学膜层，满足工艺洁净生产标准。

ULVAC爱发科高洁净低温泵

ULVAC爱发科高洁净低温泵

特色

• 四代低温泵提供了最佳的排气性能。

• 高排气速度有助于提升排气效率和生产力。

• 它特别适用于半导体制造设备和小型设备的溅射工艺。

• 一台压缩机最多可驱动四台泵。

• 我们可以根据您的预期用途设计和制造。

外部尺寸（单位：毫米）

规格

排气速度（20°C）	氮	L/s	450
	氢		500
	氩气		370
	水		1,100
到达压力	爸		10-7
最大流量	氩气	Pa・L/s	1.3×103
排气容量	氩气	Pa·L	1.0×107
	氢		1.5×105
下降冷却时间	最小（50/60Hz）		45/50
质量		公斤	14.5

北崎优势：

1、以下三大类前  6  项均为日本原厂授权代理销售；其它为厂家项目授权代理销售；

2、未归类的为我司日本本社向日本原厂直接采购，可提供关单和产地证明。

光源类：

1... EYE岩崎——UV灯、照度计 （备库销售）

2... SEN日森——UV固化装置、高压水银灯、紫外光清洗设备 （备库销售）

3... CCS晰写速——环形光源、面光源、光源箱   （部份光源可提供试样）

4... REVOX莱宝克斯——光源箱

5... SERIC索莱克——人工太阳照明灯

6... POLARION普拉瑞——强光灯

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7... FUNATECH船越龙——目视检查灯  （备库销售）

8... USHIO牛尾——UV汞灯、小灯泡

9... ATIEC艾泰克——光源、条光、同轴光、强光灯

10...YAMADA依梦达——光源 （备库销售）

仪器仪表类：

1... SANKO山高——膜厚仪、金属探测仪

2... TOKI东机产业——粘度计

3... SONIC索尼克——超声波风速仪、气体及液体流量计 （备库销售）

4... SAKAGUCHI坂口电热——热电偶、耐热线、热电对

5... DIT东日技研——静电消除器、离子风棒

6... SUGIYAMA杉山电机——下死点检测仪、误送检测装置 （备库销售）

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7... IJIMA饭岛电子——酸素计、氧气分析仪、浓度计

8... TORAY东丽——气体分析仪

9... HIOKI日置——功率分析仪、记录仪、电流传感器

10...TOPCON拓普康——色彩亮度计、辉度计、照度计  （备库销售）

11...KYOWA共和——应变仪、应变片、传感器  （部份备库销售）

12...USHIO牛尾——照度计 （备库销售）

13...ORC欧阿希——照度计 （备库销售）

14...AND爱安德——水分计、天平、粘度计 （备库销售）

15...YASKAWA安川——磁性开关 （备库销售）

16...RKC——热电偶、温控器 （备库销售）

17...EXCEL——听音机 （备库销售）