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SONIC索尼克工业设备-超声微流体流量计
SONIC索尼克工业设备-超声微流体流量计
用于
半导体制造工艺中微小区域的流量管理，如异丙醇、纯水和化学溶液
：·从1毫升/分钟测量超小流量
・利用数字信号处理
高精度测量超高流量 ・传感器部分不接触流体
·广域能力
μLF-300
| 类型 | μLF-300S + μLT-8I（1/8英寸）或μLF-300S + μLT-4I（1/4英寸） |
| 测量原则 | 超声传播时差法 |
| 测量液体 | 纯水、水溶液、各种化学溶液 * 请提前确认液体是否除水 |
| 合适的流体温度范围 | 如果您计划在15°C~80°C * 60°C或更高使用，请提前确认。 |
| 流体压力 | 低于0.5MPa |
| 流体运动学粘度 | 100mm^2/秒或更小 |
| 流量范围 | 0 ml/min ~ 1000 ml/min（μLF-300S + μLT-8I） 0 ml/min ~ 4000 ml/min（μLF-300S + μLT-4I） |
| 测量精度 | ±0.5%RD（1/8英寸：200 ~ 1000 ml/min 状态：室温，恒温水） ±1 ml/min（1/8英寸：0 ~ 199 ml/min） ±0.5% RD（1/4英寸：800 ~ 4000 ml/min 状况：室温，恒温水） ±4 ml/min（1/4英寸：0 ~ 799毫升/分钟） |
| 重复性 | ±0.2%（纯净液体温度±0.5°C，平均30秒） |
| 电源 | 直流24V ±10% |
| 功耗 | 低于3.6瓦 |
| 重量 | 转换器240克，探测器70克 |
| 尺寸：宽×宽×深（毫米） | 转换器：97 x 49 x 127; 检测单元：90 x 25 x 20（不含电子管） |
| 探测单元 | |
| 电子管材料 | PFA（氟树脂） |
| 管径 | 1/8英寸外径：3.17毫米，内径：2.17毫米，1/4英寸外径：6.35毫米，内径：4.35毫米 |
| 结构 | 相当于IP65 |
| 包含的有线电视 | 5米，连接器连接 |
| 输入单元 | |
| 数字输出 | 4线RS-422,4线RS-485 |
| 模拟输出 | 4-20mA（瞬时流量），负载电阻低于500Ω |
| 累积脉冲输出 | 1ch（开放收集器） |
| 报警输出 | 1ch（开放收集器） |
| 接触输入 | 1CH（零流量设置或净积水） |
| 密钥输入 | 4. 输入按钮 |
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