VAT真空蝶式调压阀
61.3 高真空蝶形控制阀高真空蝶形控制阀可提供出色的压力控制性能。

VAT真空蝶式调压阀商品编号 61328-KAAE-0001  mbar 至 1.2 bar (abs)

尺寸  DN 25 (1")

法兰  ISO-KF

VAT真空蝶式调压阀材料  铝

驱动器  步进电机  控制器接口+感应器

逻辑（A/D）/2个感应器

VAT 真空蝶式调压阀

控制器配置  SPS

低压力  1 × 10-8 mbar

最高压力  1.2 bar (abs)

闸门上的压差  ≤ 1 bar

密封  FKM

循环直到第一次维修  2 000 000

典型的关闭或开放时间  90 ms

最大电导率(N2分子流)  22 ls-1

重量  2.2 kg / 4.85 lbs

最小可控电导率(N2分子流)  0.15 ls-1

泄漏率  1 × 10-9 ls-1

最高温度阀体  ≤ 150 °C   快速且精准的下游压力控制

在所有条件下均能实现出色的压力控制

61.3 高真空蝶形控制阀可提供出色的压力控制性能。凭借其快速且精准的作用动作控制器（0.1 秒），61.3 蝶形控制阀成为 CVD 和 ALD 工艺中精细控制的理想解决方案。阀板可充当节流元件，改变阀门开度的流导特性。61.3 蝶形控制阀的集成压力控制器可计算所需的阀板位置，以尽快实现设定压力。

该系列产品专为气流中有粒子的恶劣下游工艺设计。即使粒子载荷高并且存在因设计而沉积的碎屑，61.3 蝶形控制阀仍能够保持正常运行。

61.3 系列已经安装在数千个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中，证明了其可靠性。凭借坚固的设计、直接安装选项，以及简单且轻松的维护，61.3 系列在各个方面都令人信服。

阀体材料、表面处理、弹性体、法兰连接、特殊尺寸以及特殊控制算法（自适应、固定 PI 下游/软抽）方面的各种设计选项可简化在不同真空应用中的集成。