VAT真空蝶式调压阀（61.3 系列）61328-KAAE-0001
专为高真空下游压力控制设计，适用于 CVD、ALD 等苛刻工艺，兼具快速响应、精准调节与高可靠性。
一、VAT真空蝶式调压阀基本规格参数
- 商品编号 61328-KAAE-0001
- 尺寸：DN 25（1"）
- 法兰标准：ISO-KF
- 阀体材料：铝
- 密封材质 ： FKM
- 驱动器：步进电机，集成控制器接口 + 传感器（逻辑 A/D / 2 个传感器）
- 控制器配置：SPS（可编程逻辑控制）
- 重量：2.2 kg / 4.85 lbs
二、压力与电导率性能
- 压力范围：1 × 10⁻⁸ mbar ～ 1.2 bar（abs）
- 闸门允许压差：≤ 1 bar
- 典型关闭/开启时间 ： 90 ms
- 最大电导率（N₂ 分子流）：22 L/s
- 最小可控电导率（N₂ 分子流）：0.15 L/s
- 泄漏率（阀体密封）：1 × 10⁻⁹ L/s
三、温度与耐用性
- 阀体最高温度：≤ 150 °C
- 初次维修前循环次数：2,000,000 次
四、产品特点与优势
- 快速精准的下游压力控制
集成压力控制器可在 0.1 秒内快速计算并调整阀板位置，实现设定压力的逼近，特别适用于精细控制的 CVD / ALD 工艺。
- 优异的抗污染能力
阀板作为节流元件，通过改变开度调节流导。针对气流中含粒子或碎屑沉积的恶劣下游工艺进行优化，即使在高粒子载荷下仍保持正常运行。
- 久经考验的可靠性
该系列已成功应用于数千个严苛工艺现场，坚固的设计、直接安装选项以及简便的维护流程，保障长期稳定运行。
- 灵活的定制选项
可提供多种阀体材料、表面处理、弹性体、法兰连接形式、特殊尺寸，以及自适应 / 固定 PI 下游 / 软抽等特殊控制算法，方便适配不同真空应用需求。
五、典型应用领域
- 化学气相沉积（CVD）
- 原子层沉积（ALD）
- 高真空镀膜
- 半导体制造
- 科研真空系统
2026-08-19
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