爱发科罗茨干泵凭什么实现无油真空？

油封旋片泵依靠泵油完成密封、润滑、冷却；而爱发科多级罗茨干泵抽气腔内部不使用真空泵油，依靠机械结构设计实现洁净无油抽气，避免油雾返流污染工艺腔体。

一、转子非接触间隙密封，泵腔内部无油润滑

泵体内配置多组三叶罗茨转子，同步齿轮驱动两组转子高速反向旋转。转子互相之间、转子和泵壳内壁之间，维持微米级精密间隙，零件运行互不接触。不靠油液填充缝隙做密封，依靠微小间隙形成气体阻隔，完成气体的吸入、输送与压缩。运动部件没有摩擦，因此抽气腔体不需要注入润滑油，从根源消除泵油接触被抽气体的条件ULVAC SHOW...。

注意：齿轮、轴承依旧需要润滑油，但是这部分润滑区域和抽气腔体做隔离，油不会进入气路当中。

二、多级转子串联，分段完成气体压缩

单级罗茨结构压缩能力有限，爱发科罗茨干泵把多组罗茨转子串联布置在同一根转轴上。气体从进气口进入，依次流过每一级转子腔室，每一级完成一部分增压，把巨大总压缩比拆分到多个压缩级，逐级把低压气体压缩到接近大气压，最后直接从排气口排出，不需要油辅助压缩做功。

三、轴封隔离结构，隔绝润滑油窜入泵腔

齿轮箱、轴承仓存放润滑油脂，依靠高精度轴封组件，把传动润滑区域和抽气腔体隔开。轴封阻挡齿轮箱内油雾、油气往真空侧渗透，即便轴承齿轮有润滑油，油气也无法进入工艺气路，保障抽出来的气体不含油类介质。

四、对比油封泵，无油带来的现实收益

1. 无油蒸气返流，不会污染晶圆、镀膜基板等精密工件，适配半导体、镀膜、真空干燥等洁净工况。

2. 泵腔内部没有泵油，不存在油品乳化、油液氧化碳化的问题。

3. 不需要频繁更换真空泵油，减少废液处理，适合 24 小时连续产线运行ULVAC SHOW...。

五、无油结构的客观边界，容易被忽略

1. 依靠间隙密封，存在一定气体返流，极限真空会受间隙大小影响。

2. 虽然泵腔无油，但齿轮箱润滑油会消耗，仍要定期检查齿轮箱油位、更换润滑油。

3. 如果大量粉尘、腐蚀性气体进入泵腔，转子、泵壳内壁会被腐蚀磨损，间隙变大，抽气性能下降，工况恶劣必须增加前置过滤装置。

4. 吸入大量水汽时，需要开启气镇阀，防止水汽穿过轴封进入齿轮箱，造成齿轮油变质失效。

简易总结

爱发科罗茨干泵实现无油真空核心三点：①转子非接触微米间隙运行，泵腔内部不用油润滑密封；②多级转子串联分段压缩气体；③轴封隔离传动仓与抽气腔，阻挡齿轮润滑油窜入真空气路。