防护要求
操作人员佩戴 UV 防护眼镜、无尘丁腈手套，设备运行时排风系统全程开启，及时分解作业产生的臭氧；禁止直视腔体内部紫外光源。清洁耗材仅使用无水异丙醇、无尘棉签、超细纤维无尘布。
设备电气预检
确认电源线接地牢靠，输入电压匹配设备额定参数；检查机身急停按钮、腔体门控联锁功能正常，开门自动切断灯管输出。
耗材与腔体检查
核对内部 SUV 系列清洗灯管外观无裂纹、发黑雾化；腔体内部反光板无油污、硅粉堆积，散热风道滤网无堵塞；载物托盘滑动顺畅无卡顿。
工件预处理
待清洗晶圆、基材提前使用无尘布去除表面大颗粒粉尘，工件边缘无崩缺，避免碎屑掉落腔体污染光路。
开启总电源，设备自动进入待机模式，启动排风与内置散热风机预运行 2 分钟。
拉开腔体门，平稳抽出载物托盘，将工件平整摆放于托盘中心，工件之间预留通风间隙，不可堆叠遮挡紫外光路。
缓慢推回托盘，闭合腔体门，确认门控开关压紧到位。
设置工艺参数：根据产品需求调节照射功率、清洗时长，参数确认后锁定面板，防止误触改动。
按下启动按键，灯管自动点火预热 3 分钟，预热完成后进入计时清洗工序。
工序结束设备自动切断光源，风机持续运转，待腔体内部紫外衰减后，方可开门取出工件。
批量生产间隔管控
单次连续作业时长控制在 4 小时以内，完成一批工件后停机 10 分钟，辅助灯管与电源模块降温，减缓光衰速度。
每小时巡检内容
查看风机出风流量稳定，机身外壳无异常高温；观察灯管发光无闪烁、黑斑；简易复测工位紫外辐照强度，数值下滑及时清洁反光板。
工件上下料规范
连续作业取放工件动作轻柔，避免碎屑掉落腔体；若出现有机污染物挥发附着管壁，缩短月度清洁周期。
参数统一管理
同型号产品固定一套清洗参数，每次更换工件材质时，单独记录功率、时长基准数据，留存台账。
腔体门未闭合强行启动设备，会造成臭氧、紫外光外泄，损伤人体皮肤与眼部。
高温状态下开门取件、拆装灯管，冷热冲击易导致石英灯管炸裂，存在烫伤风险。
裸手触碰灯管石英管壁，油脂高温碳化附着管壁，长期降低紫外清洗效率。
长时间满功率不间断运行，电源与灯管持续高温，大幅缩短设备使用寿命。
使用硬质工具、粗糙纸巾擦拭反光板、灯管，造成无法修复的光学划痕。
设备无法启动：检查腔体门是否关严，排查电源线、急停按钮复位状态。
清洗效果变差、能量不足：清洁灯管管壁与反光板，疏通散热风道；清洁后无改善则更换灯管。
灯管频繁闪烁、内部打火：断电清理灯座氧化积碳，检查供电电压稳定性。
机身高温报警：立即停止连续作业，停机吹扫滤网，延长设备冷却时间。
全部工件清洗完成后，关闭光源输出，排风、散热风机持续运行 15 分钟。
切断设备总电源，完整清洁腔体、托盘、风道滤网。
闭合腔体防尘盖板，整理周边工具耗材。
登记当日连续作业时长、灯管损耗状态、辐照检测数据，规划下一次保养检修时间。
